[发明专利]一种射频电源

说明书

本发明公开了一种射频电源，该射频电源中，在对功率调整及阻抗匹配模块输出的射频交流电进行采集时，充分考虑到环境温度对采样的影响，从而设置了恒温采样电路，恒温采样电路将其所处的环境温度保持在预设温度范围内，并采集射频交流电，以便后续根据该射频交流电调整输出至负载的射频交流电，从而尽量减小甚至避免了环境温度对射频交流电的影响，提高了射频交流电的采集精度，也提高了射频电源的输出电源的精度，减少了射频电源的输出电源的调整时间。

技术领域

本发明涉及射频电源技术领域，特别是涉及一种射频电源。

背景技术

射频电源一般应用于等离子清洗及普通工业镀膜等应用领域。考虑到射频电源的负载为游离的等离子体，其功率需求也随时发生变化，为了满足负载的功率需求，在对射频电源的输出电源调整的过程中，涉及到对射频电源的输出电压和射频电流的采集，现有技术中在对射频电源的输出电压和射频电流进行采集时，采样电路中的一些器件例如运放等在采样电路所处的环境温度发生变化时，其静态工作点也会发生变化，从而使得运放的输出端电压偏离原始值而上下漂动，造成采样信号的失真，降低了射频电源的输出电源的精度，延长了射频电源的输出电源的调整时间。

发明内容

本发明的目的是提供一种射频电源，提高了射频交流电的采集精度，也提高了射频电源的输出电源的精度，减少了射频电源的输出电源的调整时间。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种射频电源，包括：

用于将交流电转换为射频直流电的整流模块；

分别与所述整流模块及负载连接、用于根据第一处理器的控制对所述射频直流电进行逆变、功率调整及阻抗匹配，得到射频交流电并输出至负载的功率调整及阻抗匹配模块；

与所述功率调整及阻抗匹配模块的输出端连接、用于将自身所处环境温度保持在预设温度范围内并采集所述射频交流电的恒温采样电路；

分别与所述功率调整及阻抗匹配模块及所述恒温采样电路连接的所述第一处理器，用于根据所述射频交流电控制所述功率调整及阻抗匹配模块。

优选地，所述恒温采样电路包括：

用于采集射频交流电压的电压采样模块；

用于采集射频交流电流的电流采样模块；

用于采集自身所处环境温度的温度传感器；

加热模块和制冷模块；

分别与所述电压采样模块、所述电流采样模、所述温度传感器、所述加热模块和所述制冷模块连接的第二处理器，用于通过控制所述加热模块和所述制冷模块将所述环境温度保持在预设温度范围内并输出所述射频交流电压和所述射频交流电流。

优选地，所述加热模块包括：

控制端与所述第二处理器连接的第一开关；

加热器件及第一电源，所述加热器件、第一电源及所述第一开关构成串联回路。

优选地，所述制冷模块包括：

控制端与所述第二处理器连接的第二开关；

制冷器件及第二电源，所述制冷器件、所述第二电源及所述第二开关构成串联回路。

优选地，所述电压采样模块包括：

用于采集射频交流电压的电压传感器；

与所述电压传感器连接的低通滤波器，用于滤除所述射频交流电压中的频率超过1/2采样频率的高频分量；

与所述低通滤波器连接的衰减器，用于将滤波后的射频交流电衰减至单转双模块的输入信号处理范围内；