[发明专利]一种射频电源

权利要求书

1.一种射频电源，其特征在于，包括：

用于将交流电转换为射频直流电的整流模块；

分别与所述整流模块及负载连接、用于根据第一处理器的控制对所述射频直流电进行逆变、功率调整及阻抗匹配，得到射频交流电并输出至负载的功率调整及阻抗匹配模块；

与所述功率调整及阻抗匹配模块的输出端连接、用于将自身所处环境温度保持在预设温度范围内并采集所述射频交流电的恒温采样电路；

分别与所述功率调整及阻抗匹配模块及所述恒温采样电路连接的所述第一处理器，用于根据所述射频交流电控制所述功率调整及阻抗匹配模块。

2.如权利要求1所述的射频电源，其特征在于，所述恒温采样电路包括：

用于采集射频交流电压的电压采样模块；

用于采集射频交流电流的电流采样模块；

用于采集自身所处环境温度的温度传感器；

加热模块和制冷模块；

分别与所述电压采样模块、所述电流采样模、所述温度传感器、所述加热模块和所述制冷模块连接的第二处理器，用于通过控制所述加热模块和所述制冷模块将所述环境温度保持在预设温度范围内并输出所述射频交流电压和所述射频交流电流。

3.如权利要求2所述的射频电源，其特征在于，所述加热模块包括：

控制端与所述第二处理器连接的第一开关；

加热器件及第一电源，所述加热器件、第一电源及所述第一开关构成串联回路。

4.如权利要求2所述的射频电源，其特征在于，所述制冷模块包括：

控制端与所述第二处理器连接的第二开关；

制冷器件及第二电源，所述制冷器件、所述第二电源及所述第二开关构成串联回路。

5.如权利要求2所述的射频电源，其特征在于，所述电压采样模块包括：

用于采集射频交流电压的电压传感器；

与所述电压传感器连接的低通滤波器，用于滤除所述射频交流电压中的频率超过1/2采样频率的高频分量；

与所述低通滤波器连接的衰减器，用于将滤波后的射频交流电衰减至单转双模块的输入信号处理范围内；

与所述衰减器连接的所述单转双模块，用于将衰减后的射频交流信号由单端信号转换为差模信号；

分别与所述单转双模块及所述第二处理器连接的ADC，用于将所述差模信号由模拟量转换为数字量。

6.如权利要求2所述的射频电源，其特征在于，所述电流采样模块包括：

用于采集射频交流电流的电流传感器；

与所述电流传感器连接的低通滤波器，用于滤除所述射频交流电流中的频率超过1/2采样频率的高频分量；

与所述低通滤波器连接的衰减器，用于将滤波后的射频交流电衰减至单转双模块的输入信号处理范围内；

与所述衰减器连接的所述单转双模块，用于将衰减后的射频交流信号由单端信号转换为差模信号；

分别与所述单转双模块及所述第二处理器连接的ADC，用于将所述差模信号由模拟量转换为数字量。

7.如权利要求1所述的射频电源，其特征在于，所述整流模块为PFC整流模块。