[发明专利]横喷结构及其应用的电解蚀刻装置在审
| 申请号： | 201910829035.9 | 申请日： | 2019-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN110592653A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 朱爱明;刘建波;吴志鹏 | 申请（专利权）人： | 昆山东威科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C25F7/00 | 分类号： | C25F7/00;C25F3/02 |
| 代理公司： | 11250 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人： | 贾晓燕 |
| 地址： | 215300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于电解蚀刻领域，提供一种电解液喷洒装置，包括喷洒单元，所述喷洒单元包括数根喷管和喷嘴，所述喷管水平设置且在水平面上的投影重合，所述喷嘴设于所述喷管上；以及开关组件，包括设于所述喷管上的流量控制单元和通断控制单元。所述流量控制单元控制所述喷管的电解液喷洒流量，所述通断控制单元控制所述喷管内的电解液的通断；所述流量控制单元和所述通断控制单元串联或并联设置于所述喷管上，用于调节蚀刻过程中同一待蚀刻件上水平方向蚀刻的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 喷管 蚀刻 流量控制单元 通断控制单元 电解液 喷洒单元 喷嘴 并联设置 电解蚀刻 开关组件 喷洒装置 水平设置 投影重合 均匀性 通断 喷洒 串联 | ||
【主权项】：
1.一种电解液喷洒装置，其特征在于包括：/n喷洒单元(1)，所述喷洒单元(1)包括数根喷管(11)和喷嘴(12)，所述喷管(11)水平设置且在水平面上的投影重合，所述喷嘴(12)设于所述喷管(11)上；/n以及开关组件(13)，包括设于所述喷管(11)上的流量控制单元(131)和通断控制单元(132)，所述流量控制单元(131)控制所述喷管(11)的电解液喷洒流量，所述通断控制单元(132)控制所述喷管(11)内的电解液的通断；/n所述流量控制单元(131)和所述通断控制单元(132)串联或并联设置于所述喷管(11)上。/n
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