[发明专利]横喷结构及其应用的电解蚀刻装置

权利要求书

1.一种电解液喷洒装置，其特征在于包括：

喷洒单元(1)，所述喷洒单元(1)包括数根喷管(11)和喷嘴(12)，所述喷管(11)水平设置且在水平面上的投影重合，所述喷嘴(12)设于所述喷管(11)上；

以及开关组件(13)，包括设于所述喷管(11)上的流量控制单元(131)和通断控制单元(132)，所述流量控制单元(131)控制所述喷管(11)的电解液喷洒流量，所述通断控制单元(132)控制所述喷管(11)内的电解液的通断；

所述流量控制单元(131)和所述通断控制单元(132)串联或并联设置于所述喷管(11)上。

2.根据权利要求1所述的横喷结构，其特征在于，所述流量控制单元(131)和所述通断控制单元(132)并联设置于所述喷管(11)上，所述通断控制单元(132)的并联管路上还设有与所述通断控制单元(132)串联的辅助流量控制单元(133)。

3.根据权利要求1所述的横喷结构，其特征在于，所述喷洒单元(1)还包括输入管(2)，所述输入管(2)连通各所述喷管(11)并向其输入电解液。

4.根据权利要求3所述的横喷结构，其特征在于，所述输入管(2)竖直设置，所述输入管(2)连接于各所述喷管(11)的端部，不同高度的所述喷管(11)的喷液流量设置不同。

5.根据权利要求3所述的横喷结构，其特征在于，输入管(2)水平设置，各所述喷管(11)通过弯折管与所述所述输入管(2)连接。

6.根据权利要求3-5任意一项所述的横喷结构，其特征在于，所述输入管(2)设有一根，各所述喷管(11)均与一根所述输入管(2)连通，或者，所述输入管(2)设有至少两根，所述喷管(11)分别与不同的所述输入管(2)连通。

7.根据权利要求6所述的横喷结构，其特征在于，沿高度降低方向各所述喷管(11)的预设喷液流量逐渐加大。

8.根据权利要求1所述的横喷结构，其特征在于，所述喷嘴(12)包括：

喷嘴主体(121)、引流口(122)和出液口(123)，所述出液口(123)轴向设于所述喷嘴主体(121)内，所述引流口(122)径向设于所述喷嘴主体(121)上，所述引流口(122)分别与所述喷管(11)和所述出液口(123)连通；所述引流口(122)包括至少一对直线边。

9.根据权利要求8所述的横喷结构，其特征在于，喷嘴主体(121)包括安装端和输出端，所述安装端插入所述喷管(11)并与所述喷管(11)过盈配合，所述引流口(122)设于所述安装端的外周面上，所述出液口(123)贯穿所述输出端设置。

10.一种电解装置，包括电解槽(3)，其特征在于，

还包括如上述权利要求1-9任意一项所述的喷洒装置，所述喷管(11)位于电解槽(3)内，所述流量控制单元(131)和通断控制单元(132)位于电解槽(3)外。