[发明专利]一种应用于半导体光学CCD视觉的优化方法有效
| 申请号: | 201910811397.5 | 申请日: | 2019-08-30 |
| 公开(公告)号: | CN110674810B | 公开(公告)日: | 2023-04-18 |
| 发明(设计)人: | 张磊;薛敬 | 申请(专利权)人: | 苏州悦谱半导体有限公司 |
| 主分类号: | G06V10/25 | 分类号: | G06V10/25;G06V10/24 |
| 代理公司: | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人: | 朱春红 |
| 地址: | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种应用于半导体光学CCD视觉的优化算法,用多次迭代求最佳值,包括步骤1:获取CCD视觉湿膜原图;步骤2:对原图做二值化;步骤3:进行圆的模块匹配;步骤4:根据不同的直径迭代第三步,得出最优匹配;步骤5:根据步骤4的最优匹配,从原图中取出感兴趣区;步骤6:通过计算相邻像素点像素差值的方法算value值;步骤7:遍历不同的圆心坐标和直径找出最佳value值对应的圆心和直径;步骤8:达到预期的精度要求,迭代结束,未达到预期的精度,要求做下一次迭代;步骤9:将步骤5的感兴趣区进行线性放大。通过上述方式,本发明可以把湿膜对位的精度从2个丝提升到0.5个丝,大大提升了湿膜对位的精准度。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 应用于 半导体 光学 ccd 视觉 优化 方法 | ||
【主权项】:
1.一种应用于半导体光学CCD视觉的优化算法,其特征在于,利用多次迭代求最佳值,包括以下具体步骤:/n步骤1:通过CCD视觉抓取湿膜靶点的原始图,此处的原始图为黑白图;/n步骤2:通过二值化增加原始图的识别效率,并使用Otsu算法自适应;/n步骤3:圆的模块匹配使用白色画布,黑色的圆,画布略大于圆,圆置于画布的中心;/n步骤4:遍历不同的圆直径并重复步骤3,找到最优匹配;/n步骤5:根据找到的最优匹配,从原始图中取出感兴趣区;/n步骤6:对感兴趣区中以圆形为对象目标,取圆周围的像素点,通过计算相邻像素点像素差值的方法得出value值;/n步骤7: 遍历不同的圆心和坐标并使用步骤6的方法,找出最佳value值对应的圆心和坐标;/n步骤8:如果结果满意,达到预期的曝光精度要求,结束迭代,否则,未达到预期的曝光精度要求,继续进行迭代;/n步骤9:继续进行迭代时,将步骤5的感兴趣区进行线性放大,然后再重复步骤6至步骤8,直至完成迭代。/n
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