[发明专利]扫描镜的扫描参数测量方法有效
| 申请号： | 201910810148.4 | 申请日： | 2019-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN110426181B | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 陈杰;向少卿 | 申请（专利权）人： | 上海禾赛科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G01B11/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 郎彦泽;叶子浓 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 扫描镜的扫描参数测量方法，包括：获得扫描参数的初始值；其中，所述扫描参数包括初始相位和振幅；基于所述扫描参数的初始值，就至少两个探测器单元分别获得回波信号在探测器单元中心位置时所对应的扫描时刻，其中，已知各个探测器单元的安装位置；根据所述至少两个探测器单元的回波信号在探测器单元中心位置时所对应的扫描时刻，计算得出扫描参数的精确值。本发明能够在无需位置传感器等专门的测量仪器的情况下，获得扫描镜振幅、初始相位的精确值，有利于缩小测量仪器的体积、并节省成本。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 参数 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种扫描镜的扫描参数测量方法，其特征在于，包括：获得扫描参数的初始值；其中，所述扫描参数包括初始相位和振幅；基于所述扫描参数的初始值，就至少两个探测器单元分别获得回波信号在探测器单元中心位置时所对应的扫描时刻，其中，已知各个探测器单元的安装位置；根据所述至少两个探测器单元的回波信号在探测器单元中心位置时所对应的扫描时刻，计算得出扫描参数的精确值。
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