[发明专利]扫描镜的扫描参数测量方法

权利要求书

1.一种扫描镜的扫描参数测量方法，其特征在于，包括：

获得扫描参数的初始值；其中，所述扫描参数包括初始相位和振幅；

基于所述扫描参数的初始值，就至少两个探测器单元分别获得回波信号在探测器单元中心位置时所对应的扫描时刻，其中，已知各个探测器单元的安装位置，其中，分别获得回波信号在探测器单元中心位置时所对应的扫描时刻的步骤包括：基于所述扫描参数的初始值、以及各个探测器单元的安装位置，计算激光器分别打点在多个不同位置的探测器单元的时刻，且就所述至少两个探测器单元，分别根据所述扫描镜扫描进入和退出探测器单元的时刻，获得回波信号在探测器单元中心位置时所对应的扫描时刻；

根据所述至少两个探测器单元的回波信号在探测器单元中心位置时所对应的扫描时刻，计算得出扫描参数的精确值。

2.如权利要求1所述的扫描镜的扫描参数测量方法，其特征在于，所述获得扫描参数的初始值包括：根据一个探测器单元的测量数据，计算得到扫描镜的扫描参数，作为扫描参数的初始值。

3.如权利要求2所述的扫描镜的扫描参数测量方法，其特征在于，所述根据一个探测器单元的测量数据，计算得到扫描镜的扫描参数，作为扫描参数的初始值的步骤包括：

驱动扫描镜振动；

驱动激光器打点；

通过多个探测器单元中的一个探测器单元来检测回波信号，分别记录该探测器单元被扫描镜连续扫描到4次的4个时刻；

计算扫描参数的初始值。

4.如权利要求3所述的扫描镜的扫描参数测量方法，其特征在于，所述驱动扫描镜振动具体是：根据出厂的初始参数驱动扫描镜振动；所述驱动激光器打点具体是：以正常值一倍或多倍的速度驱动激光器打点。

5.如权利要求3所述的扫描镜的扫描参数测量方法，其特征在于，所述计算扫描参数的初始值包括：

T＝(t3+t4-t1-t2)/2；

f＝1/T；

b＝(t1+t2+t3+t4)/2-3T/4；

A＝a/cos(2πf*((t2-t1+t4-t3)/4))；

所述扫描镜的扫描曲线为：a＝Asin[2πf(t+b)]；

其中，T表示周期，t1、t2、t3、t4分别表示该探测器单元被扫描镜连续扫描到4次的4个时刻，f表示频率，b表示初始相位，A表示振幅，a为已知参数，用于描述该探测器单元的安装位置。

6.如权利要求1所述的扫描镜的扫描参数测量方法，其特征在于，采用单点测量的方式来得到所述扫描参数的初始值。

7.如权利要求1所述的扫描镜的扫描参数测量方法，其特征在于，基于所述扫描参数的初始值，就至少两个探测器单元分别获得回波信号在探测器单元中心位置时所对应的扫描时刻的步骤包括：

选择所述多个不同位置的探测器单元中的至少两个探测器单元分别进行如下操作：在扫描镜扫描进入和退出该探测器单元的时刻分别打点，调整光斑位置直到两者与该探测器单元的中心位置的距离相等。

8.如权利要求7所述的扫描镜的扫描参数测量方法，其特征在于，所述调整光斑位置直到两者与该探测器单元的中心位置的距离相等的步骤包括：

若tr回波信号强度＞tf回波信号强度，则表示tc(tr+tf)/2，若tr回波信号强度＜tf回波信号强度，则表示tc＞(tr+tf)/2，调整光斑位置直到tr回波信号强度等于tf回波信号强度；

其中，tc表示回波信号在该探测器单元中心位置时所对应的扫描时刻，tr表示扫描镜进入该探测器单元的时刻，tf表示扫描镜退出该探测器单元的时刻。