[发明专利]扫描镜的扫描参数测量方法

说明书

扫描镜的扫描参数测量方法，包括：获得扫描参数的初始值；其中，所述扫描参数包括初始相位和振幅；基于所述扫描参数的初始值，就至少两个探测器单元分别获得回波信号在探测器单元中心位置时所对应的扫描时刻，其中，已知各个探测器单元的安装位置；根据所述至少两个探测器单元的回波信号在探测器单元中心位置时所对应的扫描时刻，计算得出扫描参数的精确值。本发明能够在无需位置传感器等专门的测量仪器的情况下，获得扫描镜振幅、初始相位的精确值，有利于缩小测量仪器的体积、并节省成本。

技术领域

本发明涉及光学元件技术领域，特别是涉及一种扫描镜的扫描参数测量方法。

背景技术

扫描镜作为一种传统的光学元件，在光学成像、投影显示和条码识别等领域有着重要的应用。由于具有体积小、重量轻、成本低及功耗小等诸多显著优点，扫描镜在光通信、投影显示、物体识别、数据存储及生物医学等领域有着广泛的应用前景。

扫描镜的机电性能会受到环境的影响。具体的，在特定频率信号驱动下，由于受到环境温度、湿度及周围电磁信号的干扰，扫描镜的机电特性会发生微小的变动，这影响了扫描镜工作的稳定性。

为了克服这种影响，实时监测扫描镜的机电特性进而研制出扫描镜闭环控制系统成为提高扫描镜工作稳定性的必要手段。

扫描镜的机电特性主要和幅值(振幅)相关，则幅值的测量成为技术难点，而扫描镜的偏转角度(初始相位)可通过幅值获取。现有技术中，测量幅值和扫描镜偏转角度的方式通常是采用位置传感器(psd)等专门的仪器来进行测量。但这些专门的测量仪器通常体积较大、且价格高昂。

发明内容

本发明解决的技术问题是：如何在无需位置传感器等专门的测量仪器的情况下，获得扫描镜幅值(振幅)、偏转角度(初始相位)的精确值。

为了解决上述技术问题，本发明实施例提供一种扫描镜的扫描参数测量方法，包括：

基于所述扫描参数的初始值，就至少两个探测器单元分别获得回波信号在探测器单元中心位置时所对应的扫描时刻，其中，已知各个探测器单元的安装位置；

根据所述至少两个探测器单元的回波信号在探测器单元中心位置时所对应的扫描时刻，计算得出扫描参数的精确值。

可选的，所述获得扫描参数的初始值包括：根据一个探测器单元的测量数据，计算得到扫描镜的扫描参数，作为扫描参数的初始值。

可选的，所述根据一个探测器单元的测量数据，计算得到扫描镜的扫描参数，作为扫描参数的初始值，所述测量方法步骤包括：

驱动扫描镜振动；

驱动激光器打点；

通过多个探测器单元中的一个探测器单元来检测回波信号，分别记录该探测器单元被扫描镜连续扫描到4次的4个时刻；

计算扫描参数的初始值。

可选的，所述驱动扫描镜振动具体是：根据出厂的初始参数驱动扫描镜振动；所述驱动激光器打点具体是：以正常值一倍或多倍的速度驱动激光器打点。

可选的，所述计算扫描参数的初始值包括：

T＝(t3+t4-t1-t2)/2；

f＝1/T；

b＝(t1+t2+t3+t4)/2-3T/4；

A＝a/cos(2πf×((t2-t1+t4-t3)/4))；

其中，T表示周期，t1、t2、t3、t4分别表示该探测器单元被扫描镜连续扫描到4次的4个时刻，f表示频率，b表示初始相位，A表示振幅，a为已知参数，用于描述该探测器单元的安装位置。