[发明专利]一种半导体检测探针平台在审
| 申请号： | 201910793989.9 | 申请日： | 2019-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN110687115A | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 肖遵保;许建亚 | 申请（专利权）人： | 上海探芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N21/01;H01L21/67 |
| 代理公司： | 31288 上海宣宜专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 邢黎华 |
| 地址： | 201499 上海市奉*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体检测探针平台，包括侧板、探针台、底座和载物托盘，所述底座的顶部表面固定有第一导轨，所述第一导轨背离底座的一端与探针台连接固定，所述探针台的上表面固定有探针固定块，所述侧板的顶部表面固定有托架，所述托架的上表面固定有气缸，所述气缸通过连接板与第二导轨连接固定，所述第二导轨上固定有显微镜，所述探针台的一端焊接有螺纹柱，所述螺纹柱的底端焊接有从动轮，所述底座的上表面固定有手摇轮，所述手摇轮的底端焊接有主动轮，所述底座的底端表面固定有变速轮，所述底座的上表面固定有载物托盘。本发明具备升降精度高、显微镜可升降，且可使平台进行同步升降的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 底座 上表面 探针台 导轨 底端 焊接 顶部表面 载物托盘 螺纹柱 手摇轮 侧板 气缸 托架 显微镜 半导体检测 探针固定块 表面固定 导轨连接 连接固定 探针平台 同步升降 变速轮 从动轮 可升降 连接板 动轮 升降 背离 | ||
【主权项】：
1.一种半导体检测探针平台，包括侧板(1)、探针台(2)、底座(4)和载物托盘(6)，其特征在于：所述底座(4)的顶部表面固定有第一导轨(3)，所述第一导轨(3)背离底座(4)的一端与探针台(2)连接固定，所述探针台(2)的上表面固定有探针固定块(9)，所述底座(4)的顶部表面位于第一导轨(3)的一侧固定有侧板(1)，所述侧板(1)的顶部表面固定有托架(18)，所述托架(18)的上表面固定有气缸(17)，所述气缸(17)通过连接板(12)与第二导轨(11)连接固定，所述第二导轨(11)上固定有显微镜(10)，所述探针台(2)的一端焊接有螺纹柱(13)，所述螺纹柱(13)的底端焊接有从动轮，所述底座(4)的上表面固定有手摇轮(8)，所述手摇轮(8)的底端焊接有主动轮(16)，所述底座(4)的底端表面固定有变速轮(14)，所述底座(4)的上表面固定有载物托盘(6)。/n
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