[发明专利]一种半导体检测探针平台

权利要求书

1.一种半导体检测探针平台，包括侧板(1)、探针台(2)、底座(4)和载物托盘(6)，其特征在于：所述底座(4)的顶部表面固定有第一导轨(3)，所述第一导轨(3)背离底座(4)的一端与探针台(2)连接固定，所述探针台(2)的上表面固定有探针固定块(9)，所述底座(4)的顶部表面位于第一导轨(3)的一侧固定有侧板(1)，所述侧板(1)的顶部表面固定有托架(18)，所述托架(18)的上表面固定有气缸(17)，所述气缸(17)通过连接板(12)与第二导轨(11)连接固定，所述第二导轨(11)上固定有显微镜(10)，所述探针台(2)的一端焊接有螺纹柱(13)，所述螺纹柱(13)的底端焊接有从动轮，所述底座(4)的上表面固定有手摇轮(8)，所述手摇轮(8)的底端焊接有主动轮(16)，所述底座(4)的底端表面固定有变速轮(14)，所述底座(4)的上表面固定有载物托盘(6)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体检测探针平台，其特征在于：所述螺纹柱(13)和变速轮(14)通过皮带(15)传动连接，所述变速轮(14)与主动轮(16)通过皮带(15)传动连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体检测探针平台，其特征在于：所述载物托盘(6)的底端设有两块移动板，且两块移动板分别与纵向移动结构(5)和横向移动结构(7)连接固定，所述纵向移动结构(5)与横向移动结构(7)的结构及大小相同。

4.根据权利要求3所述的一种半导体检测探针平台，其特征在于：所述横向移动结构(7)的内部转动安装有螺纹杆(19)，所述螺纹杆(19)的一端位于横向移动结构(7)的外侧设有手柄(21)，所述螺纹杆(19)的外部套接有连接块(20)，所述连接块(20)内表面开设有与螺纹杆(19)外表面大小相适配的螺纹。

5.根据权利要求1所述的一种半导体检测探针平台，其特征在于：所述底座(4)的上表面与螺纹柱(13)相对应处设有螺纹套管，且所述螺纹柱(13)与螺纹套管螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体检测探针平台，其特征在于：所述探针台(2)的底部表面均匀分布有限位杆，且限位杆与第一导轨(3)的位置相对应，所述探针台(2)通过限位杆与第一导轨(3)相互配合限位安装在底座(4)的上方。