[发明专利]一种半导体检测探针平台

说明书

本发明公开了一种半导体检测探针平台，包括侧板、探针台、底座和载物托盘，所述底座的顶部表面固定有第一导轨，所述第一导轨背离底座的一端与探针台连接固定，所述探针台的上表面固定有探针固定块，所述侧板的顶部表面固定有托架，所述托架的上表面固定有气缸，所述气缸通过连接板与第二导轨连接固定，所述第二导轨上固定有显微镜，所述探针台的一端焊接有螺纹柱，所述螺纹柱的底端焊接有从动轮，所述底座的上表面固定有手摇轮，所述手摇轮的底端焊接有主动轮，所述底座的底端表面固定有变速轮，所述底座的上表面固定有载物托盘。本发明具备升降精度高、显微镜可升降，且可使平台进行同步升降的优点。

技术领域

本发明涉及半导体检测技术领域，具体为一种半导体检测探针平台。

背景技术

在电子装置(诸如半导体衬底)的制造过程中以及制造过程完成以后，需要对其进行相关检测以确定其性能。目前市场上的探针平台不能升降或者升降精度大，多为手轮摇360度，升降0.5-1毫米不等，不能满足越来越精密的测试需要，且显微镜不能升降，由于显微镜镜头长短不一，更换不同倍率镜头测试时，显微镜镜头和被测样品会出先现有碰撞的现象，现有产品是利用直线轴承做为垂直导向升降，导致垂直升降不稳定、间隙大，升降的时候不会是真正的达到同步升降。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体检测探针平台，具备升降精度高、显微镜可升降，且可使平台进行同步升降的优点，解决了目前市场上的探针平台不能升降或者升降精度大，多为手轮摇360度，升降0.5-1毫米不等，不能满足越来越精密的测试需要，且显微镜不能升降，由于显微镜镜头长短不一，更换不同倍率镜头测试时，显微镜镜头和被测样品会出先现有碰撞的现象，现有产品是利用直线轴承做为垂直导向升降，导致垂直升降不稳定、间隙大，升降的时候不会是真正的达到同步升降的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体检测探针平台，包括侧板、探针台、底座和载物托盘，所述底座的顶部表面固定有第一导轨，所述第一导轨背离底座的一端与探针台连接固定，所述探针台的上表面固定有探针固定块，所述底座的顶部表面位于第一导轨的一侧固定有侧板，所述侧板的顶部表面固定有托架，所述托架的上表面固定有气缸，所述气缸通过连接板与第二导轨连接固定，所述第二导轨上固定有显微镜，所述探针台的一端焊接有螺纹柱，所述螺纹柱的底端焊接有从动轮，所述底座的上表面固定有手摇轮，所述手摇轮的底端焊接有主动轮，所述底座的底端表面固定有变速轮，所述底座的上表面固定有载物托盘。

优选的，所述螺纹柱和变速轮通过皮带传动连接，所述变速轮与主动轮通过皮带传动连接。

优选的，所述载物托盘的底端设有两块移动板，且两块移动板分别与纵向移动结构和横向移动结构连接固定，所述纵向移动结构与横向移动结构的结构及大小相同。

优选的，所述横向移动结构的内部转动安装有螺纹杆，所述螺纹杆的一端位于横向移动结构的外侧设有手柄，所述螺纹杆的外部套接有连接块，所述连接块内表面开设有与螺纹杆外表面大小相适配的螺纹。

优选的，所述底座的上表面与螺纹柱相对应处设有螺纹套管，且所述螺纹柱与螺纹套管螺纹连接。

优选的，所述探针台的底部表面均匀分布有限位杆，且限位杆与第一导轨的位置相对应，所述探针台通过限位杆与第一导轨相互配合限位安装在底座的上方。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：通过设置变速轮，使用者在转动手摇轮时，通过变速轮进行变速，来达到控制探针台的升降精度的效果，且探针台的底端均匀分布有限位杆，限位杆与第一导轨相互配合对探针台升降时进行限位，从而达到使探针台同步升降，通过设置气缸，气缸与导轨相互配合保证显微镜升降稳定平顺不产生震动。

附图说明

图1为本发明的主视外观示意图；

图2为本发明的侧视剖视示意图；

图3为本发明的俯视外观示意图；