[发明专利]张网装置及张网方法有效
| 申请号： | 201910786394.0 | 申请日： | 2019-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN112410724B | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 郝征;李志丹;唐世弋 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种张网装置及张网方法，包括张网模块、预对准模块和传送模块，张网模块包括用于承载支撑框架的承载台及用于完成第一方向和第二方向的金属掩模条的张网的夹持单元，预对准模块包括为第一方向和第二方向的金属掩模条提供承载空间的预对准台和检测金属掩模条上的对准标记的检测单元，根据检测单元的检测结果可以校正金属掩模条相对所述预对准台的位置，完成对准后，传送模块拾取金属掩模条并将金属掩模条传送至所述支撑框架上进行张网，提高了张网精度，并且，只在一个张网装置中即可完成第一方向和第二方向的金属掩模条的张网，提高了张网效率，降低了金属掩模板的制作成本。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
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