[发明专利]张网装置及张网方法有效
| 申请号: | 201910786394.0 | 申请日: | 2019-08-23 |
| 公开(公告)号: | CN112410724B | 公开(公告)日: | 2022-02-15 |
| 发明(设计)人: | 郝征;李志丹;唐世弋 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司: | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人: | 王宏婧 |
| 地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 装置 方法 | ||
1.一种张网装置,其特征在于,包括:
张网模块,包括承载台及夹持单元,所述承载台用于承载支撑框架,所述夹持单元用于完成第一方向和第二方向的金属掩模条的张网;
预对准模块,包括预对准台和检测单元,所述预对准台为第一方向和第二方向的金属掩模条提供承载空间,所述检测单元检测所述金属掩模条上的对准标记以用于校正所述金属掩模条相对所述预对准台的位置;
传送模块,用于拾取所述金属掩模条并将所述金属掩模条传送至所述支撑框架上。
2.如权利要求1所述的张网装置,其特征在于,所述夹持单元包括若干对第一夹爪和若干对第二夹爪,每对第一夹爪沿第一方向分布于所述承载台相对的两侧,每对第二夹爪沿第二方向分布于所述承载台相对的另外两侧。
3.如权利要求1所述的张网装置,其特征在于,所述预对准台呈十字形且位于所述张网模块的一侧。
4.如权利要求1所述的张网装置,其特征在于,所述预对准台具有两个,两个所述预对准台位于所述张网模块相对的两侧,其中一个所述预对准台沿第一方向延伸,另一个所述预对准台沿第二方向延伸。
5.如权利要求3或4所述的张网装置,其特征在于,所述预对准模块还包括第一龙门架,所述第一龙门架沿第一方向延伸且能够沿第二方向移动,所述检测单元设置于所述第一龙门架上且能够在所述第一龙门架上沿第一方向移动。
6.如权利要求5所述的张网装置,其特征在于,所述第一龙门架为一个或两个。
7.如权利要求5所述的张网装置,其特征在于,所述检测单元包括若干CCD镜头。
8.如权利要求3或4所述的张网装置,其特征在于,所述传送模块包括第二龙门架及设置于所述第二龙门架上的吸附单元,所述第二龙门架沿第一方向延伸且能够沿第二方向移动。
9.如权利要求8所述的张网装置,其特征在于,所述吸附单元包括若干真空吸嘴,所述真空吸嘴真空吸附并拾取所述金属掩模条。
10.一种利用如权利要求1-9中任一项所述的张网装置的张网方法,其特征在于,包括:
将金属掩模条沿其张网方向放置于预对准台上;
通过检测所述金属掩模条上的对准标记以校正所述金属掩模条相对所述预对准台的位置;
将所述金属掩模条传送至支撑框架上并进行张网。
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