[发明专利]张网装置及张网方法

说明书

本发明提供了一种张网装置及张网方法，包括张网模块、预对准模块和传送模块，张网模块包括用于承载支撑框架的承载台及用于完成第一方向和第二方向的金属掩模条的张网的夹持单元，预对准模块包括为第一方向和第二方向的金属掩模条提供承载空间的预对准台和检测金属掩模条上的对准标记的检测单元，根据检测单元的检测结果可以校正金属掩模条相对所述预对准台的位置，完成对准后，传送模块拾取金属掩模条并将金属掩模条传送至所述支撑框架上进行张网，提高了张网精度，并且，只在一个张网装置中即可完成第一方向和第二方向的金属掩模条的张网，提高了张网效率，降低了金属掩模板的制作成本。

技术领域

本发明涉及半导体制备技术领域，尤其是一种张网装置及张网方法。

背景技术

OLED显示技术已经发展成当今主流显示技术之一，而其制作的关键工艺之一就是金属掩模板的制作，现在制作金属掩模板时间长、精度低、涉及设备多。比如对于张网部分，一个金属掩模板完成至少需要两个张网装置，分别为精细金属掩模(Fine Metal Mask，FMM)张网装置和支撑掩模(Common Metal Mask，CMM)张网装置，FMM张网设备主要负责对精细金属掩模条(FMM金属掩模条)和对准标记金属掩模条(side stick金属掩模条)进行张网，张网方向为X方向，支撑掩模张网装置主要负责对横向支撑金属掩模条(cover金属掩模条)和纵向支撑金属掩模条(support金属掩模条)进行张网，其中cover金属掩模条的张网方向为X方向，但是support金属掩模条的张网方向为Y方向，采用多种张网装置制作一个金属掩模板，导致金属掩模板制作成本相对较高，也降低了制作效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种张网装置及张网方法，以解决制备金属掩模板需要用到多个张网装置，张网效率不高的问题。

为了达到上述目的，本发明提供了一种张网装置，包括：

张网模块，包括承载台及夹持单元，所述承载台用于承载支撑框架，所述夹持单元用于完成第一方向和第二方向的金属掩模条的张网；

预对准模块，包括预对准台和检测单元，所述预对准台为第一方向和第二方向的金属掩模条提供承载空间，所述检测单元检测所述金属掩模条上的对准标记以用于校正所述金属掩模条相对所述预对准台的位置；

传送模块，用于拾取所述金属掩模条并将所述金属掩模条传送至所述支撑框架上。

可选的，所述夹持单元包括若干对第一夹爪和若干对第二夹爪，每对第一夹爪沿第一方向分布于所述承载台相对的两侧，每对第二夹爪沿第二方向分布于所述承载台相对的另外两侧。

可选的，所述预对准台呈十字形且位于所述张网模块的一侧。

可选的，所述预对准台具有两个，两个所述预对准台位于所述张网模块相对的两侧，其中一个所述预对准台沿第一方向延伸，另一个所述预对准台沿第二方向延伸。

可选的，所述预对准模块还包括第一龙门架，所述第一龙门架沿第一方向延伸且能够沿第二方向移动，所述检测单元设置于所述第一龙门架上且能够在所述第一龙门架上沿第一方向移动。

可选的，所述第一龙门架为一个或两个。

可选的，所述检测单元包括若干CCD镜头。

可选的，所述传送模块包括第二龙门架及设置于所述第二龙门架上的吸附单元，所述第二龙门架沿第一方向延伸且能够沿第二方向移动。

可选的，所述吸附单元包括若干真空吸嘴，所述真空吸嘴真空吸附并拾取所述金属掩模条。

本发明还提供了一种利用所述的张网装置的张网方法，包括：

将金属掩模条沿其张网方向放置于预对准台上；

通过检测所述金属掩模条上的对准标记以校正所述金属掩模条相对所述预对准台的位置；