[发明专利]使用带电粒子显微镜检查样品的方法在审
| 申请号： | 201910766415.2 | 申请日： | 2019-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN110849926A | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | T.图玛;J.赫拉迪尔;P.赫拉文卡 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N23/2206 | 分类号： | G01N23/2206;G01N23/046 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张凌苗;闫小龙 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种使用带电粒子显微镜检查样品的方法。该方法包括以下步骤：使用第一检测器，响应于扫描过样品的区域的光束，检测来自样品的第一类型的发射。然后，使用所检测的第一类型的发射的光谱信息将所述样品的扫描区域的至少一部分分成多个区段。根据本发明，在所述多个区段中的至少一个区段中沿着扫描的不同位置处的第一类型的发射可以被组合以产生在所述多个区段的所述一个中的样品的组合光谱。在一个实施方案中，第二检测器用于检测第二类型的发射，并且这用于将样品的区域划分为多个区域。第一检测器可以是EDS，第二检测器可以基于EM。这样，EDS数据和EM数据可以有效地组合以产生彩色图像。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 带电 粒子 显微镜 检查 样品 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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