[发明专利]使用带电粒子显微镜检查样品的方法

权利要求书

1.使用带电粒子显微镜检查样品的方法，包括：

-使用第一检测器，响应于扫描过所述样品的区域的光束，检测来自所述样品的第一类型的发射；

-使用所检测的第一类型的发射的光谱信息将所述样品的扫描区域的至少一部分分成多个区段；

-在所述多个区段中的至少一个中将沿着扫描在不同位置处的第一类型的发射组合，以在所述多个区段中的所述一个中产生所述样品的组合光谱。

2.根据权利要求1所述的方法，进一步包括：

-使用检测到的第一类型的发射的光谱信息，将所述多个区段中的至少一个分成多个子分段；

-在所述多个子区段中的至少一个中将沿着扫描在不同位置处的第一类型的发射组合，以在所述多个子区段中的所述一个中产生所述样品的组合子光谱。

3.根据权利要求1或2所述的方法，进一步包括：

-响应于在所述样品的所述区域上扫描的所述光束，使用第二检测器检测来自样品的第二类型的发射；

-使用第二类型的发射，将样品的扫描区域划分为多个区域；

-将在所述多个区域中的至少一个中沿扫描的不同位置的第一类型的发射组合，以产生该区域中的样品的组合谱。

4.根据权利要求3所述的方法，其中在将所述样品的扫描区域的至少一部分分成多个区段的所述步骤之前，执行将所述样品的扫描区域分成多个区域的所述步骤。

5.根据权利要求3或4所述的方法，其中执行将所述样品的扫描区域的至少一部分划分为多个区段的所述步骤，用于划分所述多个区域中的至少一个。

6.根据权利要求3、4或5所述的方法，其中所述第二检测器被布置用于检测带电粒子，特别是电子。

7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述第一检测器被布置用于检测粒子，特别是光子，例如x射线光子。

8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其包括另外扫描待检查样品的至少一部分区域的步骤，以及使用所述第一检测器响应于所述另外扫描检测所述第一类型的发射。

9.根据前述权利要求中任一项所述的方法，当从属于权利要求3时，包括使用第一类型的发射和使用第二类型的发射用于提供待检查的所述样品的单个彩色图像的步骤。

10.根据权利要求2和9所述的方法，其中使用区段信息和子区段信息来提供所述彩色图像。

11.根据权利要求9或10所述的方法，其中所述彩色图像的色彩空间包括色调、值和色度，其中：

-第一类型的发射用于限定所述彩色图像的色调和色度中的至少一个；和

-第二类型的发射用于限定所述彩色图像的值。

12.根据权利要求11所述的方法，其中色调用于限定待检查样品的材料特性，并且其中所述色度用于限定所述材料特性的置信度的度量。

13.一种带电粒子显微镜，用于使用根据前述权利要求中一项或多项所述的方法检查样品，并且包括：

-光学柱，其包括带电粒子源、最终探针形成透镜和扫描仪，用于将从所述带电粒子源发射的带电粒子束聚焦到样品上；

-样品台，其位于所述最终探针形成透镜下游并且布置用于保持所述样品；

-第一检测器，其用于响应于从所述带电粒子源发射的带电粒子的入射，检测源自所述样品的第一类型的发射；

-控制单元和处理设备，其连接到所述第一检测器；

其中所述带电粒子显微镜用于执行根据前述权利要求中的一项或多项所述的方法。

14.根据权利要求13所述的带电粒子显微镜，还包括第二检测器，用于响应于从所述带电粒子源发射的带电粒子的入射，检测源自所述样品的第二类型的发射。

15.根据权利要求14所述的带电粒子显微镜，还包括输出设备，用于输出处理后的第一检测器信息和处理后的第二检测器信息的组合，特别是其中所述输出设备布置用于输出彩色图像，其中所述彩色图像的色彩空间包括色调、值和色度，并且其中：

-第一类型的发射用于限定所述彩色图像的色调和色度中的至少一个；和

-第二类型的发射用于限定所述彩色图像的值。