[发明专利]使用带电粒子显微镜检查样品的方法

说明书

本发明涉及一种使用带电粒子显微镜检查样品的方法。该方法包括以下步骤：使用第一检测器，响应于扫描过样品的区域的光束，检测来自样品的第一类型的发射。然后，使用所检测的第一类型的发射的光谱信息将所述样品的扫描区域的至少一部分分成多个区段。根据本发明，在所述多个区段中的至少一个区段中沿着扫描的不同位置处的第一类型的发射可以被组合以产生在所述多个区段的所述一个中的样品的组合光谱。在一个实施方案中，第二检测器用于检测第二类型的发射，并且这用于将样品的区域划分为多个区域。第一检测器可以是EDS，第二检测器可以基于EM。这样，EDS数据和EM数据可以有效地组合以产生彩色图像。

技术领域

本发明涉及一种使用带电粒子显微镜检查样品的方法，其包括步骤：使用第一检测器响应于扫描过样品的区域的带电粒子束检测来自样品的第一类型的发射，和使用检测到的第一类型的发射的光谱信息来检查所述样品。

背景技术

带电粒子显微镜法，特别是电子显微镜法的形式，是一种众所周知且日益重要的微观物体成像技术。从历史上看，电子显微镜的基本类已经演变成许多公知的装置种类，如透射电子显微镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)和扫描透射电子显微镜(STEM)以及各种亚种，如所谓的“双射束”装置(例如FIB-SEM)，其额外采用“加工”聚焦离子射束(FIB)，允许支持活动，如例如离子射束研磨或离子射束诱导沉积(IBID)。技术人员将熟悉不同种类的带电粒子显微术。

通过扫描电子束照射样品，例如以二次电子、后散射电子、X射线和阴极发光(红外、可见光和/或紫外光子)的形式加速“辅助”辐射从样品的放射。可以检测该发射辐射的一个或多个分量并将其用于样品分析。

通常，在SEM中，后向散射电子由固态检测器检测，其中每个后向散射电子在半导体检测器中产生许多电子-空穴对时被放大。当扫描光束时，后向散射电子检测器信号用于形成图像，当主光束在样品上移动时，每个图像点的亮度由在样品上的相应点处检测到的后向散射电子的数量确定。图像仅提供关于待检查样品的拓扑的信息。

在称为“能量色散x射线光谱”或“EDS”的过程中，测量来自样品的响应电子束的x射线的能量，并在直方图中绘制以形成材料特定光谱。可以将测量的光谱与各种元素的已知光谱进行比较，以确定所述样品中存在哪些元素和矿物质。

EDS的一个缺点是需要相当长的时间来累积样品的X射线光谱。通常，使用具有离散分析点的网格。当EDS检测器记录X射线时，电子束停留在每个分析点上。一旦记录了足够的X射线计数，光束就会移动到下一个分析点。来自EDS检测器的信号被馈送到信号处理单元，该信号处理单元为每个分析点建立x射线光谱曲线，其可以与广泛的已知矿物相库匹配，以选择该分析点的最佳匹配。

发明内容

因此，本发明的一个目的是提供一种使用带电粒子显微镜检查样品的改进的方法，其中检测到的发射的光谱信息用于检查所述样品。特别地，本发明的一个目的是提供一种用于更快速和/或更准确地获取关于样品的信息的方法和装置。

为此，本发明提供了一种使用如权利要求1所限定的带电粒子显微镜检查样品的方法。该方法包括以下步骤：使用第一检测器，响应于扫描过样品的区域的光束，检测来自样品的第一类型的发射。该方法还包括收集所述第一类型的所述检测到的发射的光谱信息。所检测的第一类型的发射的所述光谱信息用于将样品的扫描区域的至少一部分分成多个区段。根据本发明，在所述多个区段中的至少一个区段中沿着扫描的不同位置处的第一类型的发射被组合以产生在所述多个区段的所述一个中的样品的组合光谱。