[发明专利]一种适用于大尺寸硅片插片且防止硅片弯曲粘片的花篮在审

申请号：	201910755448.7	申请日：	2019-08-15
公开（公告）号：	CN110676201A	公开（公告）日：	2020-01-10
发明（设计）人：	仇慧生	申请（专利权）人：	东方环晟光伏(江苏)有限公司
主分类号：	H01L21/673	分类号：	H01L21/673
代理公司：	12213 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)	代理人：	栾志超
地址：	214200 江苏省***	国省代码：	江苏;32
权利要求书：	查看更多	说明书：	查看更多
摘要：	本发明提供一种适用于大尺寸硅片插片且防止硅片弯曲粘片的花篮，包括设于第一端板与第二端板之间的多对相互平行的支撑杆，其中，多对相互平行的支撑杆沿着第一端板的一侧至另一侧依次设置，且支撑杆相对于第一端板和第二端板可相对移动；以及每一对支撑杆的相对侧面上均设有若干个支撑齿，若干个支撑齿一一对应，便于硅片插片；支撑齿具有一定长度，相邻支撑齿形成硅片插槽，便于硅片插片；支撑齿具有支撑部，支撑部与硅片接触为点接触，减少硅片变形。本发明的有益效果是具有支撑部，支撑部具有一定的弧度，与硅片的接触为点接触，且与硅片的非边缘接触，防止硅片弯曲导致粘片花篮，能够减少硅片的变形程度。
搜索关键词：	硅片支撑齿支撑杆第一端插片硅片弯曲支撑点接触端板粘片平行变形花篮大尺寸硅片硅片插槽相对侧面相对移动依次设置非边缘
钻瓜网技术展会专利词库专利权人专利榜在售专利公布日期热门专利

【主权项】：

1.一种适用于大尺寸硅片插片且防止硅片弯曲粘片的花篮，包括第一端板和第二端板，所述第一端板与所述第二端板平行设置，其特征在于：所述第一端板与所述第二端板之间设有多对相互平行的支撑杆，其中，/n所述多对相互平行的支撑杆沿着所述第一端板的一侧至另一侧依次设置，且所述支撑杆相对于所述第一端板和所述第二端板可相对移动；以及/n每一对所述支撑杆的相对侧面上均设有若干个支撑齿，所述若干个支撑齿一一对应，便于硅片插片；/n所述支撑齿具有一定长度，相邻所述支撑齿形成硅片插槽，便于硅片插片；/n所述支撑齿具有支撑部，所述支撑部与所述硅片接触为点接触，减少硅片变形。/n

下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。

免登录下载普通用户下载升级VIP会员，免费下载

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东方环晟光伏(江苏)有限公司，未经东方环晟光伏(江苏)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】

本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910755448.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。

同类专利

专利分类

H 电学

H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造

免登录下载普通用户下载升级VIP会员，免费下载

[发明专利]一种适用于大尺寸硅片插片且防止硅片弯曲粘片的花篮在审

专利文献下载