[发明专利]一种医疗器械表面镀钛处理装置及处理方法在审
申请号: | 201910754122.2 | 申请日: | 2019-08-15 |
公开(公告)号: | CN110387525A | 公开(公告)日: | 2019-10-29 |
发明(设计)人: | 张波;朱理瀚;金旭栋;龙海燕;虞文武;聂俊;马雯雯 | 申请(专利权)人: | 常州机电职业技术学院 |
主分类号: | C23C14/16 | 分类号: | C23C14/16;C23C14/34 |
代理公司: | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人: | 孙莉莉 |
地址: | 213164 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提出了一种医疗器械表面镀钛处理装置及处理方法,属于表面镀钛处理技术领域,特别是涉及一种医疗器械表面镀钛处理装置及处理方法。解决了现有镀钛装置及方法会导致器械表面的钛镀层不均匀、生产效益低和通用性差的问题。它包括真空室、底座、动力机构、货杆、放电电源和磁控靶位,所述底座同心设置于真空室内,所述底座与动力机构相连,所述磁控靶位包括中心靶位和立式靶位,所述中心靶位上套接环柱状钛靶,所述立式靶位数量为多个,多个立式靶位沿真空室圆周方向均布在真空室内壁上,每个立式靶位上均装有三个圆形钛靶,所述环柱状钛靶和圆形钛靶均与放电电源相连,所述货杆与底座通过行星机构相连。它主要用于医疗器械表面镀钛处理。 | ||
搜索关键词: | 靶位 镀钛 医疗器械表面 钛靶 底座 处理装置 动力机构 放电电源 磁控靶 真空室 货杆 真空室内壁 表面镀钛 器械表面 通用性差 同心设置 行星机构 不均匀 环柱状 钛镀层 接环 均布 上套 柱状 室内 生产 | ||
【主权项】:
1.一种医疗器械表面镀钛处理装置,其特征在于:它包括真空室(1)、底座(3)、动力机构(4)、货杆(7)、放电电源(8)和磁控靶位,所述真空室(1)为立式圆筒形结构,所述底座(3)同心设置于真空室(1)内,所述底座(3)与动力机构(4)相连,所述磁控靶位包括中心靶位和立式靶位,所述中心靶位与底座(3)中心固定相连,所述中心靶位上套接环柱状钛靶(5),所述立式靶位数量为多个,多个立式靶位沿真空室(1)圆周方向均布在真空室(1)内壁上,每个立式靶位上均装有三个圆形钛靶(2),所述环柱状钛靶(5)和圆形钛靶(2)均与放电电源(8)相连,所述货杆(7)数量为多个,多个货杆(7)沿中心靶位圆周方向均布在底座(3)上,所述货杆(1)与底座(3)通过行星机构相连。
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