[发明专利]一种医疗器械表面镀钛处理装置及处理方法

权利要求书

1.一种医疗器械表面镀钛处理装置，其特征在于：它包括真空室(1)、底座(3)、动力机构(4)、货杆(7)、放电电源(8)和磁控靶位，所述真空室(1)为立式圆筒形结构，所述底座(3)同心设置于真空室(1)内，所述底座(3)与动力机构(4)相连，所述磁控靶位包括中心靶位和立式靶位，所述中心靶位与底座(3)中心固定相连，所述中心靶位上套接环柱状钛靶(5)，所述立式靶位数量为多个，多个立式靶位沿真空室(1)圆周方向均布在真空室(1)内壁上，每个立式靶位上均装有三个圆形钛靶(2)，所述环柱状钛靶(5)和圆形钛靶(2)均与放电电源(8)相连，所述货杆(7)数量为多个，多个货杆(7)沿中心靶位圆周方向均布在底座(3)上，所述货杆(1)与底座(3)通过行星机构相连。

2.根据权利要求1所述的一种医疗器械表面镀钛处理装置，其特征在于：所述真空室(1)与通气控制系统和抽气控制系统相连。

3.根据权利要求1所述的一种医疗器械表面镀钛处理装置，其特征在于：所述真空室(1)一侧开设有真空室门(6)，所述真空室(1)高为2000mm，内直径为1300mm。

4.根据权利要求1所述的一种医疗器械表面镀钛处理装置，其特征在于：所述中心靶位为立式柱状靶位，所述环柱状钛靶(5)高为1500mm，内直径为120mm，厚度为20mm。

5.根据权利要求1所述的一种医疗器械表面镀钛处理装置，其特征在于：所述立式靶位数量数量为四个，所述圆形钛靶(2)直径为250mm，厚度为20mm。

6.根据权利要求1所述的一种医疗器械表面镀钛处理装置，其特征在于：所述货杆(7)为圆柱形挂式结构，数量为四个，所述货杆(7)高度为1500mm直径为100mm。

7.根据权利要求1所述的一种医疗器械表面镀钛处理装置，其特征在于：所述动力机构(4)为调速电机。

8.一种如权利要求1所述的医疗器械表面镀钛处理装置的处理方法，其特征在于：它包括以下步骤：

步骤一：将待处理的医疗器械放置在货杆(7)上，关闭真空室门(6)，开启动力机构(4)，使底座(3)与中心靶位同向旋转，货杆(7)围绕中心靶位反向公转并反向自转，达到转动稳定；

步骤二：启动抽气控制系统，保持真空室(1)内本底真空度为0.001－0.01Pa，打开通气控制系统，向真空室(1)内填充惰性气体，维持真空室(1)内的工作真空度保持在1-5Pa；

步骤三：开启放电电源(8)，放电电源(8)进行溅射对医疗器械表面镀钛，溅射时间为20-60min；

步骤四：处理完成后，关闭放电电源(8)、动力机构(4)、抽气控制系统和通气控制系统，通入空气至大气压，开启真空室门(6)，从货杆(7)上取下已完成表面镀钛处理的医疗器械。

9.根据权利要求8所述的一种医疗器械表面镀钛处理方法，其特征在于：所述步骤二中惰性气体为氩气。

10.根据权利要求8所述的一种医疗器械表面镀钛处理方法，其特征在于：所述步骤三中放电电源(8)为射频电源、电弧电源和/或直流电源，所述射频电源功率为60-120W，所述电弧电源功率为5-10KW，所述直流电源功率为30-60W。