[发明专利]半导体器件及其制造方法在审

专利信息
申请号: 201910740640.9 申请日: 2019-08-12
公开(公告)号: CN111403387A 公开(公告)日: 2020-07-10
发明(设计)人: 申宇哲;姜明吉;益冈完明;李相勋;黄成万 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L27/092 分类号: H01L27/092;H01L29/04;H01L21/8238
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 尹淑梅;刘灿强
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供了一种半导体器件及其制造方法,该半导体器件包括:第一半导体层,具有第一区域和第二区域;多个第一沟道层,在第一半导体层的第一区域上沿垂直方向彼此隔开;第一栅电极,围绕所述多个第一沟道层;多个第二沟道层,在第一半导体层的第二区域上沿垂直方向彼此隔开;以及第二栅电极,围绕所述多个第二沟道层,其中,所述多个第一沟道层中的每个具有第一晶向,并且所述多个第二沟道层中的每个具有不同于第一晶向的第二晶向,其中,所述多个第一沟道层中的每个的厚度不同于所述多个第二沟道层中的每个的厚度。
搜索关键词: 半导体器件 及其 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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