[发明专利]一种超高纯气体的钢瓶处理系统及方法有效
| 申请号： | 201910730459.X | 申请日： | 2019-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN110410662B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 张观海;陈艳珊;廖恒易 | 申请（专利权）人： | 广东华特气体股份有限公司 |
| 主分类号： | F17C5/06 | 分类号： | F17C5/06;F17C7/00;F17C13/00;F17C13/02;F17C13/04;F17D1/02;F17D3/01;B01D53/02;B01D46/64;G01N33/00 |
| 代理公司： | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379 | 代理人： | 朱培祺;梁永健 |
| 地址： | 528000 广东省佛山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种超高纯气体的钢瓶处理系统，包括置换气源、减压器、吸附器、过滤器组、钢瓶组、加热烘箱、真空泵和分析装置；置换气源的输出端连通至减压器的输入端；减压器的输出端连通管至吸附器的输入端，减压器的输出端还连通至分析装置的输入端；吸附器的输出端连通至过滤器组的输入端；钢瓶组包括多个钢瓶和总管，多个钢瓶连通至总管，多个钢瓶放置于加热烘箱内；过滤器组的输出端连通至总管的输入端，总管的输出端连通至真空泵的输入端。本发明根据上述内容提出一种超高纯气体的钢瓶处理系统及方法，使钢瓶内部的洁净度达到电子气体的使用要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 气体 钢瓶 处理 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种超高纯气体的钢瓶处理系统，其特征在于：包括置换气源、减压器、吸附器、过滤器组、钢瓶组、加热烘箱、真空泵和分析装置；所述置换气源的输出端连通至减压器的输入端；所述减压器的输出端连通管至吸附器的输入端，所述减压器的输出端还连通至分析装置的输入端；所述吸附器的输出端连通至过滤器组的输入端；所述钢瓶组包括多个钢瓶和总管，多个钢瓶连通至总管，多个钢瓶放置于加热烘箱内；所述过滤器组的输出端连通至总管的输入端，所述总管的输出端连通至真空泵的输入端。
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