[发明专利]一种超高纯气体的钢瓶处理系统及方法

说明书

一种超高纯气体的钢瓶处理系统，包括置换气源、减压器、吸附器、过滤器组、钢瓶组、加热烘箱、真空泵和分析装置；置换气源的输出端连通至减压器的输入端；减压器的输出端连通管至吸附器的输入端，减压器的输出端还连通至分析装置的输入端；吸附器的输出端连通至过滤器组的输入端；钢瓶组包括多个钢瓶和总管，多个钢瓶连通至总管，多个钢瓶放置于加热烘箱内；过滤器组的输出端连通至总管的输入端，总管的输出端连通至真空泵的输入端。本发明根据上述内容提出一种超高纯气体的钢瓶处理系统及方法，使钢瓶内部的洁净度达到电子气体的使用要求。

技术领域

本发明涉及钢瓶处理领域，尤其涉及一种超高纯气体的钢瓶处理系统及方法。

背景技术

半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI(大规模集成电路)级，VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。

储存电子气体的钢瓶也是影响电子气体纯度的重要因素之一，因此需要对钢瓶内部进行除杂处理后才能对电子气体进行储存。

发明内容

本发明的目的在于提出一种超高纯气体的钢瓶处理系统及方法，使钢瓶内部的洁净度达到电子气体的使用要求。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种超高纯气体的钢瓶处理系统，包括置换气源、减压器、吸附器、过滤器组、钢瓶组、加热烘箱、真空泵和分析装置；

所述置换气源的输出端连通至减压器的输入端；

所述减压器的输出端连通管至吸附器的输入端，所述减压器的输出端还连通至分析装置的输入端；

所述吸附器的输出端连通至过滤器组的输入端；

所述钢瓶组包括多个钢瓶和总管，多个钢瓶连通至总管，多个钢瓶放置于加热烘箱内；

所述过滤器组的输出端连通至总管的输入端，所述总管的输出端连通至真空泵的输入端。

进一步，所述置换气源的置换气体储存在集装格的气瓶中，所述集装格的数量为二，分别为第一集装格和第二集装格，置换气体为氮气、氩气或者氦气中的一种。

进一步，所述过滤器组包括第一级过滤器和第二级过滤器，所述第一级过滤器的输出端连通至第二级过滤器的输入端。

进一步，还包括排空管，其一端连通至总管，所述排空管设有排空阀。

进一步，还包括气体检测管，所述气体检测管的一端连通至过滤器组的输出端，所述气体检测管的另一端连通至分析装置的输入端。

进一步，还包括分管，所述分管的一端连通至气体检测管，所述分管的另一端设有软管活接头。

进一步，还包括第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门、第六阀门、第七阀门、第八阀门、第九阀门和第十阀门；

所述第一阀门设于所述第一集装格的输出端，所述第二阀门设于第二集装格的输出端，所述第三阀门设于所述分析装置的输入端，所述第四阀门设于所述吸附器的输入端，所述第五阀门设于过滤器组的输入端，所述第六阀门设于所述第一级过滤器的输出端，第七阀门设于所述气体检测管，所述第八阀门设于所述总管的输入端，所述第九阀门设于所述分管，所述第十阀门设于所述真空泵的输入端。

进一步，还包括第一压力表、第二压力表、第三压力表、第四压力表和第五压力表；