[发明专利]一种超高纯气体的钢瓶处理系统及方法

权利要求书

1.一种超高纯气体的钢瓶处理系统的方法，其特征在于：包括如下步骤：

步骤A：把置换气源的置换气通入至减压器进行减压处理；

步骤B：把减压处理后的置换气通入至分析装置进行组分检测，组分检测合格后，进入步骤C；

步骤C：把减压处理后的置换气通入至吸附器进行吸附处理；

步骤D：把吸附处理后的置换气通入至过滤器组进行过滤处理；

步骤E：把过滤处理后的置换气通入至分析装置进行含杂分析，含杂分析合格后，进入步骤F；

步骤F：启动真空泵，打开第十阀门，对系统管道进行抽真空处理，当系统管道的真空度达到0.03Pa后，关闭第十阀门，打开钢瓶组内的钢瓶自身的阀门，若钢瓶内气体的压力大于0.2MPa,则打开排空阀进行排空处理，把钢瓶内气体的压力排至0.05MPa,然后关闭排空阀，启动加热烘箱，加热温度控制在80-120摄氏度；

步骤G：打开第十阀门，对系统进行抽真空处理，当系统管道的真空度达到0.03Pa后，关闭第十阀门；

步骤H：打开第八阀门，把经过滤器组处理后的置换气通入至钢瓶内，通入钢瓶内的气体压力控制在0.2MPa，让置换气在钢瓶内静置20-30分钟，然后打开第十阀门，再对钢瓶进行抽真空处理直至系统管道的真空度达到0.03Pa；

步骤I：反复进行步骤H2至4次；

步骤J：向最靠近总管输入端的一钢瓶通入置换气，通入置换气的该钢瓶内的气体压力控制在0.8-1MPa，其余钢瓶自身的阀门关闭，其余钢瓶保持真空状态，并把所有钢瓶从加热烘箱拆下；

步骤K：待钢瓶的温度降至室温后，再把步骤J中已经通入置换气的所述钢瓶连接至分管的软管活接头，打开第九阀门，对该钢瓶组内的置换气进行含杂分析；若含杂分析合格，则对这个钢瓶进行抽真空处理，若含杂分析不合格，则对从步骤J中拆下的该钢瓶组重新进行步骤F-K；

所述置换气源的输出端连通至减压器的输入端；

所述减压器的输出端连通管至吸附器的输入端，所述减压器的输出端还连通至分析装置的输入端；

所述吸附器的输出端连通至过滤器组的输入端；

所述钢瓶组包括多个钢瓶和总管，多个钢瓶连通至总管，多个钢瓶放置于加热烘箱内；

所述过滤器组的输出端连通至总管的输入端，所述总管的输出端连通至真空泵的输入端；

所述第八阀门设于所述总管的输入端，所述第九阀门设于所述分管，所述第十阀门设于所述真空泵的输入端；

所述分管的一端连通至气体检测管，所述分管的另一端设有软管活接头；

所述气体检测管的一端连通至过滤器组的输出端，所述气体检测管的另一端连通至分析装置的输入端。

2.一种超高纯气体的钢瓶处理系统，应用如权利要求1所述的方法，其特征在于：

所述置换气源的置换气体储存在集装格的气瓶中，所述集装格的数量为二，分别为第一集装格和第二集装格，置换气体为氮气、氩气或者氦气中的一种。

3.根据权利要求2所述的一种超高纯气体的钢瓶处理系统，其特征在于：所述过滤器组包括第一级过滤器和第二级过滤器，所述第一级过滤器的输出端连通至第二级过滤器的输入端。

4.根据权利要求3所述的一种超高纯气体的钢瓶处理系统，其特征在于：还包括排空管，其一端连通至总管，所述排空管设有排空阀。

5.根据权利要求4所述的一种超高纯气体的钢瓶处理系统，其特征在于：还包括第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门、第六阀门、第七阀门、第八阀门、第九阀门和第十阀门；

所述第一阀门设于所述第一集装格的输出端，所述第二阀门设于第二集装格的输出端，所述第三阀门设于所述分析装置的输入端，所述第四阀门设于所述吸附器的输入端，所述第五阀门设于过滤器组的输入端，所述第六阀门设于所述第一级过滤器的输出端，第七阀门设于所述气体检测管。

6.根据权利要求5所述的一种超高纯气体的钢瓶处理系统，其特征在于：还包括第一压力表、第二压力表、第三压力表、第四压力表和第五压力表；

所述第一压力表设于所述减压器的输出端，所述第二压力表设于所述第五阀门的输出端与第一级过滤器的输入端之间，所述第三压力表设于所述第一级过滤器的输出端与第六阀门的输入端之间，所述第四压力表设于所述第二级过滤器的输出端与第八阀门的输入端之间，所述第五压力表设于总管。