[发明专利]保持装置、光刻装置以及物品的制造方法有效
| 申请号： | 201910714773.9 | 申请日： | 2019-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN110824856B | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 佐川彻平;加藤和哉 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 许海兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种保持装置、光刻装置以及物品的制造方法，所述保持装置保持板件，其特征在于，具有：载置台，载置所述板件；基准部件，设置于所述载置台，作为所述板件的相邻的第一侧面以及第二侧面的定位的基准；按压部件，设置于所述载置台，以使所述板件的所述第一侧面以及所述第二侧面抵接于所述基准部件的方式分别按压所述板件的所述第一侧面的相反侧的第三侧面以及所述第二侧面的相反侧的第四侧面；以及供给部，以使所述板件向从所述按压部件朝向所述基准部件的方向倾斜而在所述载置台上滑动的方式从所述载置台朝向所述板件供给气体。 | ||
| 搜索关键词： | 保持 装置 光刻 以及 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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