[发明专利]保持装置、光刻装置以及物品的制造方法

权利要求书

1.一种保持装置，保持板件，其特征在于，具有：

载置台，载置所述板件；

基准部件，设置于所述载置台，作为所述板件的相邻的第一侧面以及第二侧面的定位的基准；

按压部件，设置于所述载置台，以使所述板件的所述第一侧面以及所述第二侧面抵接于所述基准部件的方式分别按压所述板件的所述第一侧面的相反侧的第三侧面以及所述第二侧面的相反侧的第四侧面；

供给部，以使所述板件向从所述按压部件朝向所述基准部件的方向在所述载置台上滑动的方式从所述载置台朝向所述板件供给气体；以及

控制部，控制所述供给部进行的气体的供给，

所述供给部包含：第一供给管，用于向分别包含所述第一侧面和所述第四侧面的所述板件的各周边区域供给所述气体；以及第二供给管，用于向分别包含所述第二侧面和所述第三侧面的所述板件的各周边区域供给所述气体，

所述控制部以在向包含所述第一侧面的所述板件的周边区域供给所述气体之后、向包含所述第四侧面的所述板件的周边区域供给所述气体的方式，向第一供给管供给所述气体，

所述控制部以在向包含所述第二侧面的所述板件的周边区域供给所述气体之后、向包含所述第三侧面的所述板件的周边区域供给所述气体的方式，向第二供给管供给所述气体。

2.根据权利要求1所述的保持装置，其特征在于，

在所述供给部正在供给所述气体的状态下，所述按压部件分别按压所述板件的所述第三侧面以及所述第四侧面。

3.根据权利要求1所述的保持装置，其特征在于，

所述基准部件包含第一基准部件以及第二基准部件和第三基准部件，所述第一基准部件以及所述第二基准部件抵接有所述第一侧面，所述第三基准部件抵接有所述第二侧面，

在所述板件被定位在所述载置台上的状态下，所述第一基准部件以及所述第二基准部件相对于沿所述第二侧面的所述板件的中心轴对称地设置，

在所述板件被定位在所述载置台上的状态下，所述第三基准部件设置于沿所述第一侧面的所述板件的中心轴上。

4.根据权利要求3所述的保持装置，其特征在于，

所述按压部件包含第一按压部件以及第二按压部件，所述第一按压部件向朝向所述第一基准部件以及所述第二基准部件的方向按压所述板件的所述第三侧面，所述第二按压部件向朝向所述第三基准部件的方向按压所述板件的所述第四侧面，

在所述板件被定位在所述载置台上的状态下，所述第一按压部件设置于沿所述第二侧面的所述板件的中心轴上，

在所述板件被定位在所述载置台上的状态下，所述第二按压部件设置于沿所述第一侧面的所述板件的中心轴上。

5.根据权利要求4所述的保持装置，其特征在于，

所述按压部件在以使所述板件的所述第一侧面抵接于所述第一基准部件以及所述第二基准部件的方式通过所述第一按压部件按压所述板件的所述第三侧面之后，以使所述板件的所述第二侧面抵接于所述第三基准部件的方式通过所述第二按压部件按压所述板件的所述第四侧面。