[发明专利]氮化物晶体有效
| 申请号： | 201910683527.1 | 申请日： | 2019-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN110777433B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 藤仓序章;今野泰一郎;吉田丈洋 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B25/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种氮化物晶体。本发明的课题在于，提高氮化物晶体的品质，提高使用该晶体而制造的半导体设备的性能、成品率。本发明的解决手段是提供一种氮化物晶体，其是用In |
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| 搜索关键词： | 氮化物 晶体 | ||
【主权项】：
1.一种氮化物晶体，其是用In
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