[发明专利]一种气体传感器的制备方法和装置有效
| 申请号： | 201910630441.2 | 申请日： | 2019-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN110361422B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 刘宇航;刘秀洁;许诺 | 申请（专利权）人： | 北京机械设备研究所 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京云科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11483 | 代理人： | 张飙 |
| 地址： | 100854 北京市海淀区永*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种气体传感器的制备方法及装置，属于人工传感器术领域，该方法包括：配置第一种溶液；将所述第一种溶液滴至气体传感器芯片表面；获取所述气体传感器芯片的电阻值；在所述电阻值与期望电阻值的偏差在预设范围内时，结束制备。提高了气体检测的灵敏度，并且上述方法效率高成本低。达到了可以在常温低功耗的条件下提高气体传感器的灵敏度的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 传感器 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种气体传感器的制备方法，其特征在于，所述方法包括：配置第一种溶液，所述第一种溶液的溶质为NOPF6，所述第一种溶液用于降低气体传感器芯片的电阻；将所述第一种溶液滴至所述气体传感器芯片表面；获取所述气体传感器芯片的电阻值；在所述电阻值与期望电阻值的偏差在预设范围内时，结束制备。
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