[发明专利]一种气体传感器的制备方法和装置

说明书

本申请涉及一种气体传感器的制备方法及装置，属于人工传感器术领域，该方法包括：配置第一种溶液；将所述第一种溶液滴至气体传感器芯片表面；获取所述气体传感器芯片的电阻值；在所述电阻值与期望电阻值的偏差在预设范围内时，结束制备。提高了气体检测的灵敏度，并且上述方法效率高成本低。达到了可以在常温低功耗的条件下提高气体传感器的灵敏度的效果。

技术领域

本申请涉及气体传感器的制备方法及装置，属于传感技术领域。

背景技术

气体传感器是MEMS(Microelectro Mechanical Systems，微机系统)传感技术领域的重要组成部分，在低功耗、小尺寸和低成本约束条件下，实现对目标气体的高度灵敏性和长期使用的稳定性是MEMS气体传感器的重要技术研究与发展方向。现有提高MEMS气体传感器灵敏度的主要方案包括：1、提高工作温度，2、对气体进样进行富集，3、提高对微弱检测信号的放大能力。

提高工作温度的方案可提高气敏结构(材料)对目标气体的化学活性，同时可提升目标气体的能量，达到增强传感器灵敏度的目的，但该方案同时也带来功耗消耗增大和结构复杂的负面影响；对气体进样进行富集的方案从时间上对微量气体进行累积，提高其有效浓度进而提高后续的检测能力，但该方案降低了气体传感器的响应实时性，同时也增加了系统的复杂性，不利于实现气体的快速检测；提高对微弱检测信号的放大能力的方案虽然可以提升对气体检测的灵敏度，但同时也会放大噪声干扰，不利于提高检测精度。

发明内容

本申请提供了一种气体传感器的制备方法及装置，可以解决现有方案中的问题。本申请提供如下技术方案：

第一方面，提供了一种气体传感器的制备方法，所述方法包括：

配置第一种溶液，所述第一种溶液的溶质为NOPF6，所述第一种溶液用于降低气体传感器芯片的电阻；

将所述第一种溶液滴至所述气体传感器芯片表面；

获取所述气体传感器芯片的电阻值；

在所述电阻值与期望电阻值的偏差在预设范围内时，结束制备。

可选的，所述方法还包括：

在所述电阻值与期望电阻值的偏差不在所述预设范围内且所述电阻值大于所述期望电阻值时，再次执行所述将所述第一种溶液滴至气体传感器芯片表面的步骤。

可选的，所述方法还包括：

在所述电阻值与期望电阻值的偏差不在所述预设范围内且所述电阻值小于所述期望电阻值时，将第二种溶液滴至所述气体传感器芯片的表面，并再次所述获取所述气体传感器芯片的电阻值的步骤，所述第二种溶液为所述第一种溶液中的溶剂的纯溶液，所述第二种溶液用于提高所述气体传感器芯片的电阻。

可选的，在将溶液滴至所述气体传感器芯片的表面时，将所述溶液旋转滴至所述气体传感器芯片的表面。

可选的，所述将所述溶液旋转滴至所述气体传感器芯片的表面，包括：

控制旋涂设备按照预设方式旋转，并在所述旋涂设备开始旋转时将所述溶液滴至所述气体传感器芯片的表面，所述旋涂设备上固定有所述气体传感器芯片，所述预设方式包括转速和旋转时间。

可选的，所述转速为800-1200rpm。

可选的，所述旋转时间为60s。

可选的，在所述溶液为第一种溶液时，所述第一种溶液的体积为12ul；在所述溶液为所述第二种溶液时，所述第二种溶液的体积为3ul。

可选的，所述第一种溶液中的溶剂为CH3CN。