[发明专利]晶体微观织构取向的获取装置与获取方法

摘要

针对传统微观织构测试技术（SEM‑EBSD）无法测量大塑性变形样品或纳米晶粒尺度样品微观织构的技术缺点，本发明提供一种基于透射电子显微镜（TEM）的晶体微观织构取向的获取装置与获取方法，所述获取装置由样品切割设备、样品夹持设备、图像采集设备、角度采集设备和计算机组成；所述获取方法能够最终计算获得所测区域的微观织构欧拉角度(φ1,Ф,φ2)。有益的技术效果：本发明可获得测定区域的微观织构，并且可以针对任何大塑性变形样品及纳米尺度样品，能够克服传统扫描电镜背散射衍射技术空间分辨率有限和大应变量样品标定率低的问题。

主权项

1.晶体微观织构取向的获取装置，其特征在于，由电子显微镜、样品制备设备、样品夹持设备、图像采集设备和计算机组成；其中:所述电子显微镜，是一种以电子束为光源的高分辨率的显微镜，用于获得检测试样中不同区域的微观组织形貌和电子衍射斑点花样的图像，并以此为依据，测定特定区域的微观织构取向；样品制备设备负责制备样品，所制得的样品是标记有宏观特征方向的可供检测的试样；样品夹持设备、图像采集设备分别与计算机相连接；样品夹持设备负责将样品/试样夹持住，并能够带动样品一同沿轴向倾转；且样品夹持设备能将其倾转的角度值反馈至与之相连的计算机控制系统；所述旋转的角度值包括：角度值α和角度值β；其中，样品夹持设备呈长条状，且包含马达；令样品夹持设备的长度方向为X轴方向，样品夹持设备的宽度方向为Y轴方向；角度值α是指样品夹持设备沿其杆身长度方向的旋转角度；角度值β是指样品夹持设备中沿Y轴的旋转角度图像采集设备（TEM‑CCD相机）负责拍摄电子显微镜所获得的微观组织形貌图片和电子衍射斑点花样图片，并存储到计算机，用于后续计算处理并获得检测区域的微观织构欧拉角φ₁, Φ, φ₂。