[发明专利]用于密封内石英管的密封结构、工艺设备及装配方法有效
申请号: | 201910620816.7 | 申请日: | 2019-07-10 |
公开(公告)号: | CN110319192B | 公开(公告)日: | 2020-12-08 |
发明(设计)人: | 王建 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | F16J15/06 | 分类号: | F16J15/06;C30B35/00 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;张天舒 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种用于密封内石英管的密封结构、工艺设备及装配方法,密封结构包括:环形安装件,套设在内石英管外侧,且在环形安装件的内周壁上设置有第一凸台;第一密封组件,设置在第一凸台上,用于密封环形安装件的内周壁与内石英管的外周壁之间的间隙;环形支撑件,可拆卸的设置在环形安装件的底部,且包括用于支撑内石英管的底托部,和设置在底托部上方,且套设在内石英管外侧的侧向支撑部;第二密封组件,设置在侧向支撑部上,位于底托部与内石英管之间,用于密封环形支撑件的内周壁与内石英管的外周壁之间的间隙。采用本发明有效避免了从上到下安装密封组件时重力导致的装配困难,效率低下等问题。 | ||
搜索关键词: | 用于 密封 石英管 结构 工艺设备 装配 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于密封内石英管的密封结构,其特征在于,所述密封结构包括:环形安装件,套设在所述内石英管外侧,且在所述环形安装件的内周壁上设置有第一凸台;第一密封组件,设置在所述第一凸台上,用于密封所述环形安装件的内周壁与所述内石英管的外周壁之间的间隙;环形支撑件,可拆卸的设置在所述环形安装件的底部,且包括用于支撑所述内石英管的底托部,和设置在所述底托部上方,且套设在所述内石英管外侧的侧向支撑部;第二密封组件,设置在所述底托部上,位于所述侧向支撑部与所述内石英管之间,用于密封所述环形支撑件的内周壁与所述内石英管的外周壁之间的间隙。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司,未经北京北方华创微电子装备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201910620816.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:预留套管密封装置
- 下一篇:一种高压曲面环形密封结构