[发明专利]用于密封内石英管的密封结构、工艺设备及装配方法

权利要求书

1.一种用于密封内石英管的密封结构，其特征在于，所述密封结构包括：

环形安装件，套设在所述内石英管外侧，且在所述环形安装件的内周壁上设置有第一凸台；

第一密封组件，设置在所述第一凸台上，用于密封所述环形安装件的内周壁与所述内石英管的外周壁之间的间隙；

环形支撑件，可拆卸的设置在所述环形安装件的底部，且包括用于支撑所述内石英管的底托部，和设置在所述底托部上方，且套设在所述内石英管外侧的侧向支撑部；所述侧向支撑部的外侧面与所述环形安装件贴合，所述侧向支撑部的顶面与所述第一凸台的底面贴合；

第二密封组件，设置在所述底托部上，位于所述侧向支撑部与所述内石英管之间，用于密封所述环形支撑件的内周壁与所述内石英管的外周壁之间的间隙。

2.根据权利要求1所述的用于密封内石英管的密封结构，其特征在于，所述侧向支撑部与所述环形安装件的贴合面具有预设稍度。

3.根据权利要求1所述的用于密封内石英管的密封结构，其特征在于，在所述侧向支撑部的内周壁上设置有第二凸台，所述第二密封组件设置在所述第二凸台上。

4.根据权利要求3所述的用于密封内石英管的密封结构，其特征在于，还包括内石英管垫圈，所述内石英管垫圈位于所述内石英管与所述第二凸台之间。

5.根据权利要求1所述的用于密封内石英管的密封结构，其特征在于，所述第一密封组件包括由下往上依次设置的内石英管衬套、第一密封圈及第一密封垫圈。

6.根据权利要求5所述的用于密封内石英管的密封结构，其特征在于，所述第一密封组件还包括内石英管挡环，所述内石英管挡环设于所述环形安装件与所述内石英管衬套之间。

7.根据权利要求1所述的用于密封内石英管的密封结构，其特征在于，所述第二密封组件包括由下往上依次设置的第二密封垫圈、第二密封圈、密封挡圈、第三密封圈及第三密封垫圈。

8.一种工艺设备，包括内石英管、外石英管以及密封结构，其特征在于，所述密封结构包括权利要求1-7任一项所述的用于密封内石英管的密封结构。

9.一种工艺设备的装配方法，其特征在于，应用于权利要求8所述的工艺设备，所述方法包括：

将环形安装件安装在所述工艺设备中部的支撑梁上，并将环形支撑件放置于所述环形安装件下方的指定位置；

将套设有第二密封组件的内石英管放置在所述环形支撑件上，从下往上依次压装所述第二密封组件，并从所述内石英管的上端依次安装所述第一密封组件；

依次安装外石英管安装件和外石英管，所述外石英管安装件可拆卸安装在所述环形安装件上，所述外石英管安装在所述外石英管安装件上；

将所述环形支撑件及所述内石英管向上移动至所述环形支撑件的安装位置，并将所述环形支撑件与所述环形安装件可拆卸连接。