[发明专利]用于密封内石英管的密封结构、工艺设备及装配方法

说明书

本发明提供一种用于密封内石英管的密封结构、工艺设备及装配方法，密封结构包括：环形安装件，套设在内石英管外侧，且在环形安装件的内周壁上设置有第一凸台；第一密封组件，设置在第一凸台上，用于密封环形安装件的内周壁与内石英管的外周壁之间的间隙；环形支撑件，可拆卸的设置在环形安装件的底部，且包括用于支撑内石英管的底托部，和设置在底托部上方，且套设在内石英管外侧的侧向支撑部；第二密封组件，设置在侧向支撑部上，位于底托部与内石英管之间，用于密封环形支撑件的内周壁与内石英管的外周壁之间的间隙。采用本发明有效避免了从上到下安装密封组件时重力导致的装配困难，效率低下等问题。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种用于密封内石英管的密封结构、工艺设备及装配方法。

背景技术

目前，被广泛用于合成半导体(如碳化硅、氮化镓)单晶材料的工艺设备主要是生长炉，生长炉的炉膛用于提供合成半导体所需的高温、高真空和高洁净度的环境。炉膛内包括多个用于密封内石英管的密封结构，如外石英管、内石英管及密封结构等，其中，密封结构(如衬套、密封圈、密封垫等)用于防止炉膛内的水、气进入石英管内。

现有技术中，用于密封内石英管的密封结构主要包括套设在内石英管外侧的环形安装件、抵压在内石英管底部的环形支撑件及用于内石英管密封的密封组件，该密封组件设置与环形安装件、环形支撑件及内石英管之间的密封槽内。在进行密封结构的装配时，为了降低双层石英管装配对装配空间的要求，通常采用优先装配外石英管再装配内石英管的安装顺序。如此，在装配内石英管及密封组件之前外石英管和环形安装件的位置已固定，所以，密封组件只能从密封槽下方的开口反向安装所有的密封组件。由于密封组件采用由上往下的反向安装方式，因为重力的作用，密封槽内的密封组件无法直接固定在密封槽内，只能通过密封组件中的密封圈在密封槽内的压紧为其固定安装提供支撑，从而增大了装配难度。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种用于密封内石英管的密封结构、工艺设备及装配方法。

为实现本发明的目的，一方面提供一种用于密封内石英管的密封结构，所述密封结构包括：

环形安装件，套设在所述内石英管外侧，且在所述环形安装件的内周壁上设置有第一凸台；

第一密封组件，设置在所述第一凸台上，用于密封所述环形安装件的内周壁与所述内石英管的外周壁之间的间隙；

环形支撑件，可拆卸的设置在所述环形安装件的底部，且包括用于支撑所述内石英管的底托部，和设置在所述底托部上方，且套设在所述内石英管外侧的侧向支撑部；

第二密封组件，设置在所述底托部上，位于所述侧向支撑部与所述内石英管之间，用于密封所述环形支撑件的内周壁与所述内石英管的外周壁之间的间隙。

可选地，所述侧向支撑部的外侧面与所述环形安装件贴合，所述侧向支撑部的顶面与所述第一凸台的底面贴合。

可选地，所述侧向支撑部与所述环形安装件的贴合面具有预设稍度。

可选地，在所述侧向支撑部的内周壁上设置有第二凸台，所述第二密封组件设置在所述第二凸台上。

可选地，还包括内石英管垫圈，所述内石英管垫圈位于所述内石英管与所述第二凸台之间。

可选地，所述第一密封组件包括由下往上依次设置的内石英管衬套、第一密封圈及第一密封垫圈。

可选地，所述第一密封组件还包括内石英管挡环，所述内石英管挡环设于所述环形安装件与所述内石英管衬套之间。

可选地，所述第二密封组件包括由下往上依次设置的第二密封垫圈、第二密封圈、密封挡圈、第三密封圈及第三密封垫圈。