[发明专利]复合金属氧化物靶材及复合金属氧化物靶材形成的复合金属氧化物薄膜在审
| 申请号： | 201910618842.6 | 申请日： | 2019-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN110697783A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 刘燕妮;朱旭山 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | C01G41/00 | 分类号： | C01G41/00;C04B35/495;C03C17/245 |
| 代理公司： | 11105 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 孙梵 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种复合金属氧化物靶材，具有化学式A | ||
| 搜索关键词： | 复合金属氧化物薄膜 复合金属氧化物 靶材 制程 红外线阻隔 可见光 多重功效 干式镀膜 穿透 | ||
【主权项】：
1.一种复合金属氧化物靶材，具有化学式A
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