[发明专利]复合金属氧化物靶材及复合金属氧化物靶材形成的复合金属氧化物薄膜

权利要求书

1.一种复合金属氧化物靶材，具有化学式A_xCs_yWO_z，其中0.2≤x≤2，0.2≤y≤0.4，2.5≤z≤4，且A选自Bi、B、Al、Zn、Zr、Si、V和Co。

2.如权利要求1所述的复合金属氧化物靶材，其中x/y落在2.2～8.3的范围。

3.如权利要求1所述的复合金属氧化物靶材，其中0.63≤x≤1.88。

4.如权利要求1所述的复合金属氧化物靶材，其中0.23≤y≤0.33。

5.如权利要求1至4任一项所述的复合金属氧化物靶材，其中该复合金属氧化物靶材的致密度大于90％。

6.一种复合金属氧化物薄膜，具有化学式A_xCs_yWO_z，其中0.2≤x≤2，0.2≤y≤0.4，2.5≤z≤4，且A选自Bi、B、Al、Zn、Zr、Si、V和Co。

7.如权利要求6所述的复合金属氧化物薄膜，其中x/y落在2.2～8.3的范围。

8.如权利要求6所述的复合金属氧化物薄膜，其中0.63≤x≤1.88。

9.如权利要求6所述的复合金属氧化物薄膜，其中0.23≤y≤0.33。

10.如权利要求6至9任一项所述的复合金属氧化物薄膜，其中该复合金属氧化物薄膜的厚度大于0nm且小于或等于1000nm。

11.如权利要求10所述的复合金属氧化物薄膜，其中该复合金属氧化物薄膜的厚度大于0nm且小于或等于200nm。

12.如权利要求6所述的复合金属氧化物薄膜，其中该复合金属氧化物薄膜的红外线穿透率小于或等于40％。

13.如权利要求6所述的复合金属氧化物薄膜，其中该复合金属氧化物薄膜的可见光穿透率大于50％。

14.如权利要求6所述的复合金属氧化物薄膜，其中该复合金属氧化物薄膜的可见光反射率小于或等于25％。

15.如权利要求6所述的复合金属氧化物薄膜，其中该复合金属氧化物薄膜的紫外线穿透率小于或等于25％。