[发明专利]复合金属氧化物靶材及复合金属氧化物靶材形成的复合金属氧化物薄膜

说明书

一种复合金属氧化物靶材，具有化学式A_xCs_yWO_z，其中0.2≤x≤2，0.2≤y≤0.4，2.5≤z≤4，其中A选自Bi、B、Al、Zn、Zr、Si、V和Co。本发明还提供复合金属氧化物薄膜，所述复合金属氧化物薄膜系以所述复合金属氧化物靶材经由干式镀膜制程所形成。所述复合金属氧化物靶材具有高致密度、制程简单，所述复合金属氧化物薄膜具有抗UV、可见光穿透、红外线阻隔的多重功效。

【技术领域】

本发明涉及一种复合金属氧化物靶材及以该复合金属氧化物靶材形成的复合金属氧化物薄膜。

【背景技术】

由于全球气候暖化，日照和高温的时间更长，过量的紫外光照射对人体有害，红外线引起的热辐射对皮肤造成不良影响，除此之外，红外线通过玻璃传递，夏季使室内温度升高，冬季使室内取暖的热量流向室外，二者都会使空调的制冷或制热电能增加，间接造成了能源的问题，需要更有效的热阻隔材料。

目前有使用湿式法制得的隔热材料(将有机物例如由PET、PVB等与纳米陶瓷粉体混合而成)，然而其具有不耐磨耗、不耐温、可靠度差,尤其用于高楼帷幕寿命短、耐候差(黄化)、应用受限、维护困难等。另有以有机贴膜方式将光学膜贴附在基板上，但由于其使用的光学膜包含多层镀膜，存在成本与价格居高不下的问题，又由于有机涂层因时间或紫外线的照射以及热会产生劣化或造成变黄、剥离等现象，进而影响寿命、可靠度等。

因此，开发具有制程简单、多功能、高寿命、高可靠度光学材料乃是现阶段相关技术领域的重要课题。

【发明内容】

本发明提供一种复合金属氧化物靶材及复合金属氧化物薄膜。

本发明提供的复合金属氧化物靶材具有化学式A_xCs_yWO_z，其中0.2≤x≤2，0.2≤y≤0.4，2.5≤z≤4，且A选自Bi、B、Al、Zn、Zr、Si、V和Co。

在一实施例中，复合金属氧化物靶材的致密度大于90％。

在一实施例中，复合金属氧化物靶材具有化学式A_xCs_yWO_z，其中0.2≤x≤2，0.2≤y≤0.4，2.5≤z≤4，A选自Bi、B、Al、Zn、Zr、Si、V和Co，且x/y可以落在2.2至8.3的范围。

在另一实施例中，复合金属氧化物靶材具有化学式A_xCs_yWO_z，其中0.63≤x≤1.88，0.2≤y≤0.4，2.5≤z≤4，且A选自Bi、B、Al、Zn、Zr、Si、V和Co。

在又一实施例中，复合金属氧化物靶材具有化学式A_xCs_yWO_z，其中0.2≤x≤2，0.23≤y≤0.33，2.5≤z≤4，且A选自Bi、B、Al、Zn、Zr、Si、V和Co。

在一实施例中，复合金属氧化物靶材具有化学式A_xCs_yWO_z，其中0.2≤x≤2，0.2≤y≤0.4，2.85≤z≤3.44，且A选自Bi、B、Al、Zn、Zr、Si、V和Co。

在一实施例中，复合金属氧化物靶材具有化学式A_xCs_yWO_z，其中0.63≤x≤1.88，0.23≤y≤0.33，2.85≤z≤3.44，且A选自Bi、B、Al、Zn、Zr、Si、V和Co。