[发明专利]蒸镀装置有效
| 申请号： | 201910595503.0 | 申请日： | 2019-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN110218977B | 公开（公告）日： | 2021-04-27 |
| 发明（设计）人： | 伍丰伟 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种蒸镀装置。蒸镀装置包括本体以及设置于本体上方的覆盖体。本体包括蒸发部以及熔融部，熔融部的底部设有开孔，熔融部设置于蒸发部的下方，以及蒸发部及熔融部可分别独立拆解。另外，蒸镀装置还包括用于承载蒸镀材料的承载部、连接杆、压力传感器及旋转马达，以及蒸镀装置的加热源采用两段式独立温度控制的加热单元。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：本体；以及设置于所述本体上方的覆盖体；其中所述本体包括：蒸发部；熔融部，其中所述熔融部的底部设有开孔，所述熔融部设置于所述蒸发部的下方，以及所述蒸发部与所述熔融部可分别独立拆解；以及加热源，其中所述加热源用以加热所述蒸发部和熔融部。
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