[发明专利]蒸镀装置

说明书

本发明公开一种蒸镀装置。蒸镀装置包括本体以及设置于本体上方的覆盖体。本体包括蒸发部以及熔融部，熔融部的底部设有开孔，熔融部设置于蒸发部的下方，以及蒸发部及熔融部可分别独立拆解。另外，蒸镀装置还包括用于承载蒸镀材料的承载部、连接杆、压力传感器及旋转马达，以及蒸镀装置的加热源采用两段式独立温度控制的加热单元。

技术领域

本发明是有关于一种蒸镀装置，特别是有关于一种采用两段式独立温度控制的蒸镀装置。

背景技术

目前，主要以加热蒸发镀膜的方式制作有机发光二极管(Organic LightEmitting Diode)，蒸镀装置在真空环境下加热蒸镀材料，接着使汽化的蒸镀材料沉积在薄膜晶体管或基板上，进而在薄膜晶体管或基板上形成薄膜。

然而，习知的蒸镀装置所具有的熔融部与蒸发部是一体成形且无法拆解。当蒸镀装置处于预熔状态时，待蒸镀材料仍保持蒸发状态，导致过多的蒸镀材料附着到蒸镀装置的内壁上，产生蒸镀材料利用率低的问题。故，有必要提供一种改良的蒸镀装置，以提高蒸镀材料的利用率，降低有机发光二极管的制造成本。

发明内容

本发明提供一种蒸镀装置。蒸镀装置包括本体以及设置于本体上方的覆盖体以及加热源。本体包括蒸发部以及熔融部。熔融部的底部设有开孔，熔融部设置于蒸发部的下方，以及蒸发部与熔融部可分别独立拆解。加热源用以加热蒸发部和熔融部。

在本发明的一实施例中，蒸镀装置还包括用于承载蒸镀材料的承载部、连接杆、压力传感器及旋转马达。

在本发明的一实施例中，承载部设置于连接杆的第一端，压力传感器设置于连接杆的第二端，连接杆的第一端与连接杆的第二端彼此相对，旋转马达设置于压力传感器的下方，以及连接杆穿过熔融部的底部开孔。

在本发明的一实施例中，当蒸镀装置进行蒸镀时，旋转马达以的一方向转动转动，连接杆的第一端的承载部向上移动至蒸发部；以及当蒸镀装置完成蒸镀时，旋转马达以相反于第一方向的第二方向转动，连接杆的第一端的承载部向下移动至熔融部。

在本发明的一实施例中，蒸镀装置的加热源采用两段式独立温度控制的加热单元，两段式独立温度包括预熔温度及蒸发温度，预熔温度低于蒸发温度。

在本发明的一实施例中，两段式独立温度控制的加热单元包括蒸发部加热单元及熔融部加热单元，蒸发部加热单元用以加热蒸发部至蒸发温度，熔融部加热单元用以加热熔融部至预熔温度。

在本发明的一实施例中，当蒸镀装置进行蒸镀时，蒸发部的温度高于熔融部的温度。

在本发明的一实施例中，当蒸镀装置进行蒸镀时，压力传感器依据承载部的总重量并通过连接杆及旋转马达调整承载部在蒸发部内的高度。

在本发明的一实施例中，当蒸镀装置处于预熔状态时，压力传感器显示的数值为K1，承载部与压力传感器之间的距离为H1，蒸镀材料的重量为G1；当蒸镀装置处于蒸镀状态时，随着蒸镀的进行，蒸镀材料减少，此时压力传感器显示的数值为K2，承载部与压力传感器之间的距离为H2，蒸镀材料的重量为G2，以及关系式如下所示：

H2＝(K1×H1×G1)/(K2×G2)。

在本发明的一实施例中，蒸发部呈现圆柱形及熔融部呈现梯形。

附图说明

图1是本发明实施例的蒸镀装置结构示意图；

图2是本发明实施例的蒸镀装置在起始进行蒸镀时的结构示意图；以及

图3是本发明实施例的蒸镀装置在进行蒸镀一段时间后的结构示意图。

具体实施方式