[发明专利]蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：

本体；以及

设置于所述本体上方的覆盖体；

其中所述本体包括：

蒸发部；

熔融部，其中所述熔融部的底部设有开孔，所述熔融部设置于所述蒸发部的下方，以及所述蒸发部与所述熔融部可分别独立拆解；以及

加热源，其中所述加热源用以加热所述蒸发部和熔融部，所述加热源采用两段式独立温度控制的加热单元，所述两段式独立温度控制的加热单元包括蒸发部加热单元及熔融部加热单元，所述蒸发部加热单元用以加热蒸发部至蒸发温度，所述熔融部加热单元用以加热熔融部至预熔温度，当所述蒸镀装置进行蒸镀时，所述蒸发部的温度高于所述熔融部的温度。

2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括用于承载蒸镀材料的承载部、连接杆、压力传感器及旋转马达。

3.如权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述承载部设置于所述连接杆的第一端，所述压力传感器设置于所述连接杆的第二端，所述连接杆的第一端与所述连接杆的第二端彼此相对，所述旋转马达设置于所述压力传感器的下方，以及所述连接杆穿过所述熔融部的底部开孔。

4.如权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，当所述蒸镀装置进行蒸镀时，所述旋转马达以第一方向转动，所述连接杆的第一端的所述承载部向上移动至所述蒸发部；以及当所述蒸镀装置完成蒸镀时，所述旋转马达以相反于第一方向的第二方向转动，所述连接杆的第一端的所述承载部向下移动至所述熔融部。

5.如权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，当所述蒸镀装置进行蒸镀时，所述压力传感器依据所述承载部的总重量并通过所述连接杆及所述旋转马达调整所述承载部在所述蒸发部内的高度。

6.如权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，当所述蒸镀装置处于预熔状态时，所述压力传感器显示的数值为K1，所述承载部与所述压力传感器之间的距离为H1，所述蒸镀材料的重量为G1；当所述蒸镀装置处于蒸镀状态时，随着蒸镀的进行，所述蒸镀材料减少，此时所述压力传感器显示的数值为K2，所述承载部与所述压力传感器之间的距离为H2，所述蒸镀材料的重量为G2，以及关系式如下所示：

H2＝(K1×H1×G1)/(K2×G2)。

7.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸发部呈现圆柱形及所述熔融部呈现梯形。