[发明专利]电阻元件及其制造方法在审
| 申请号： | 201910584376.4 | 申请日： | 2019-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN110797326A | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 齐藤俊;山路将晴;佐佐木修;澄田仁志 | 申请（专利权）人： | 富士电机株式会社 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;H01L49/02 |
| 代理公司： | 11277 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种电阻元件及其制造方法。该电阻元件能够防止电极与电阻层之间的短路。电阻元件包括：半导体基板(1)；第1绝缘膜(2)，其设于半导体基板上；电阻层(3a)，其选择性地设于第1绝缘膜上；第1辅助膜(3b)，其自电阻层分开；第2辅助膜(3c)，其在与第1辅助膜不同的方向上自电阻层分开；第2绝缘膜(4)，其以覆盖电阻层和所述第1辅助膜及所述第2辅助膜的方式设于第1绝缘膜上；第1电极(5a)，其与电阻层连接，配置于第2绝缘膜的位于第1辅助膜的上方的部分上；以及第2电极(5b)，其与第1电极分开地与电阻层连接，配置于第2绝缘膜的位于第2辅助膜的上方的部分上。 | ||
| 搜索关键词： | 电阻层 辅助膜 绝缘膜 电极 电阻元件 半导体基板 短路 配置 覆盖 制造 | ||
【主权项】：
1.一种电阻元件，其特征在于，/n该电阻元件具备：/n半导体基板；/n第1绝缘膜，其设于所述半导体基板上；/n电阻层，其选择性地设于所述第1绝缘膜上；/n第1辅助膜，其自所述电阻层分开；/n第2辅助膜，其在与所述第1辅助膜不同的方向上自所述电阻层分开；/n第2绝缘膜，其以覆盖所述电阻层和所述第1辅助膜及所述第2辅助膜的方式设于所述第1绝缘膜上；/n第1电极，其与所述电阻层连接，配置于所述第2绝缘膜的位于所述第1辅助膜的上方的部分上；以及/n第2电极，其与所述第1电极分开地与所述电阻层连接，配置于所述第2绝缘膜的位于所述第2辅助膜的上方的部分上。/n
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