[发明专利]一种微型过滤器及声学设备有效
申请号: | 201910579444.8 | 申请日: | 2019-06-28 |
公开(公告)号: | CN110267173B | 公开(公告)日: | 2021-01-22 |
发明(设计)人: | 林育菁 | 申请(专利权)人: | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
主分类号: | H04R9/06 | 分类号: | H04R9/06;B01D46/54;H04R7/12;H04R9/02 |
代理公司: | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人: | 王昭智 |
地址: | 261061 山东省潍坊市高新区新城*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开了一种微型过滤器及声学设备,包括具有背腔的基底,以及设置在基底上且悬置在背腔上的膜层;所述膜层上具有排布的通孔,所述膜层采用非晶金属薄膜。根据本公开的一个实施例,采用非晶金属薄膜作为微型过滤器的膜层,在保证膜层强度的基础上,可以提高膜层上的开孔率,并可以使膜层的厚度变薄,使得渗透处理变得容易并且可以形成更小的通孔,避免了传统厚薄膜开孔后由于孔深较大所造成的声阻。 | ||
搜索关键词: | 一种 微型 过滤器 声学 设备 | ||
【主权项】:
1.一种微型过滤器,其特征在于,包括具有背腔的基底,以及设置在基底上且悬置在背腔上的膜层;所述膜层上具有排布的通孔,所述膜层采用非晶金属薄膜。
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