[发明专利]一种微型过滤器及声学设备

说明书

本发明公开了一种微型过滤器及声学设备，包括具有背腔的基底，以及设置在基底上且悬置在背腔上的膜层；所述膜层上具有排布的通孔，所述膜层采用非晶金属薄膜。根据本公开的一个实施例，采用非晶金属薄膜作为微型过滤器的膜层，在保证膜层强度的基础上，可以提高膜层上的开孔率，并可以使膜层的厚度变薄，使得渗透处理变得容易并且可以形成更小的通孔，避免了传统厚薄膜开孔后由于孔深较大所造成的声阻。

技术领域

本发明涉及微型过滤器，其可以是一种适用于声学设备的微型过滤器，以过滤粉尘、颗粒或/和水等不希望进入声学设备内部的物质。

背景技术

诸如笔记本电脑、平板电脑之类的便携式计算设备无处不在，诸如智能电话之类的便携式通信设备也是普遍存在的。然而，这些设备没有足够的空间来容纳相对较大的麦克风或扬声器。因此，麦克风和扬声器尺寸变得越来越紧凑并且尺寸减小。此外，这些便携式设置中的麦克风和扬声器通常需要靠近终端的相关声学输入或输出端口，使得颗粒和水容易进入麦克风、扬声器中，而造成这些声学设备的失效。

以前的设备中有时会部署过滤膜，以防止某些类型的碎屑进入组件中。不幸的是，这些滤波器往往会对麦克风的操作产生不利影响。例如，当使用这些先前的方法时，麦克风的性能有时会显着降低。由于性能下降，麦克风客户经常选择不在其应用中使用此类麦克风。

当制造过滤膜片时，普通金属薄膜具有应力极限。当普通金属薄膜的应力显示压缩而形成褶皱后，光学自动检测设备无法检测到压力。为了制造过滤芯片结构，在将合适的薄金属膜沉积到基板上时，需要获得低拉应力的膜。没有低拉伸应力的薄膜倾向于剥离、破裂、起皱或以其它方式从其基板上脱离，因此PB芯片在投入运行后不得不经常丢弃。

另外由于普通金属薄膜的强度不高，在强度与开孔存在矛盾。例如为了增大强度需要将膜层做的很厚，但是在开孔的时候，由于孔深较大会带来较大的声阻，这不利于声学设备的性能。

发明内容

本发明的一个目的是提供一种微型过滤器的新技术方案。

根据本发明的第一方面，提供了一种微型过滤器，包括具有背腔的基底，以及设置在基底上且悬置在背腔上的膜层；所述膜层上具有排布的通孔，所述膜层采用非晶金属薄膜。

可选地，所述非晶金属薄膜为金属玻璃。

可选地，金属玻璃的玻璃化转变温度Tg为150℃或更高。

可选地，金属玻璃的玻璃化转变温度Tg为250℃或更高。

可选地，所述膜层上通孔的内径为1nm至100μm。

可选地，所述膜层上通孔的内径为5nm至10μm。

可选地，所述膜层的厚度为5nm至5μm。

可选地，所述膜层的厚度为20nm至1000nm。

可选地，所述基底采用聚合物材料、金属、硅或者SiO₂。

根据本发明的另一方面，还提供了一种声学设备，包括上述的微型过滤器。

可选地，所述声学设备为麦克风模组或麦克风芯片。

根据本公开的一个实施例，采用非晶金属薄膜作为微型过滤器的膜层，在保证膜层强度的基础上，可以提高膜层上的开孔率，并可以使膜层的厚度变薄，使得渗透处理变得容易并且可以形成更小的通孔，避免了传统厚薄膜开孔后由于孔深较大所造成的声阻。

通过以下参照附图对本发明的示例性实施例的详细描述，本发明的其它特征及其优点将会变得清楚。

附图说明

被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本发明的实施例，并且连同其说明一起用于解释本发明的原理。