[发明专利]一种微型过滤器及声学设备有效
| 申请号： | 201910579444.8 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110267173B | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 林育菁 | 申请（专利权）人： | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R9/06 | 分类号： | H04R9/06;B01D46/54;H04R7/12;H04R9/02 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 王昭智 |
| 地址： | 261061 山东省潍坊市高新区新城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微型 过滤器 声学 设备 | ||
1.一种微型过滤器，其特征在于，包括具有背腔的基底，以及设置在基底上且悬置在背腔上的膜层；所述膜层上具有排布的通孔，所述膜层采用非晶金属薄膜；所述膜层包括复合在一起的一层第一膜片以及一层第二膜片，所述第一膜片与所述第二膜片其中一者具有拉应力、另一者具有压应力；
所述第一膜片与所述第二膜片其中一者为金属薄膜、另一者为不粘层，所述金属薄膜设置在基底上；所述不粘层与颗粒之间的粘性低于所述金属薄膜与颗粒之间的粘性，所述金属薄膜及所述不粘层上具有排布的通孔；所述膜层的应力范围为0至300MPa。
2.根据权利要求1所述的微型过滤器，其特征在于，所述非晶金属薄膜为金属玻璃。
3.根据权利要求1所述的微型过滤器，其特征在于，金属玻璃的玻璃化转变温度Tg为150℃或更高。
4.根据权利要求1所述的微型过滤器，其特征在于，金属玻璃的玻璃化转变温度Tg为250℃或更高。
5.根据权利要求1所述的微型过滤器，其特征在于，所述膜层上通孔的内径为1nm至100μm。
6.根据权利要求5所述的微型过滤器，其特征在于，所述膜层上通孔的内径为5nm至10μm。
7.根据权利要求1所述的微型过滤器，其特征在于，所述膜层的厚度为5nm至5μm。
8.根据权利要求7所述的微型过滤器，其特征在于，所述膜层的厚度为20nm至1000nm。
9.根据权利要求1所述的微型过滤器，其特征在于，所述基底采用聚合物材料、金属、硅或者SiO2。
10.一种声学设备，其特征在于，包括根据权利要求1至9任一项所述的微型过滤器。
11.根据权利要求10所述的声学设备，其特征在于，所述声学设备为麦克风模组或麦克风芯片。
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