[发明专利]显影装置及其显影方法有效
| 申请号： | 201910560838.9 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN110347016B | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 涂乐志 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种显影装置及其显影方法,所述显影装置包括显影单元和清洗单元，所述清洗单元包括清洗液单元和二流体单元，所述清洗液单元包括：壳体、传送平台、喷淋机构以及控制器，所述喷淋机构包括多个喷淋模组，所述控制器分别控制所述多个喷淋模组。相较于现有技术，本发明通过将原喷淋管单一的统一开断模式改造为各喷淋管独立的单独开断模式，保证在局部区域清洗效率不变的同时，降低喷淋机构的总流量，解决了现有技术的清洗单元中，残存少量显影液的清洗液在基板上形成水滴圆斑Mura的技术问题，降低了生产成本，提高了产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种显影装置，其特征在于，包括显影单元和清洗单元，所述清洗单元包括清洗液单元和二流体单元，所述清洗液单元包括：壳体，内部具有内空间；传送平台，设置于所述内空间内，所述传送平台用于传动基板；喷淋机构，设置于所述内空间内，所述喷淋机构包括多个喷淋模组，每个喷淋模组包括喷淋管、设置于喷淋管进水处的气动阀以及设置于所述喷淋管出水处的喷嘴，所述喷嘴设置于所述传送平台的上方或下方；控制器，分别与所述多个喷淋模组中的气动阀电性连接，以分别控制所述多个喷淋模组中的气动阀的开启或关闭。
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