[发明专利]显影装置及其显影方法

权利要求书

1.一种显影装置，其特征在于，包括显影单元和清洗单元，所述清洗单元包括清洗液单元和二流体单元，所述清洗液单元包括：

壳体，内部具有内空间；

传送平台，设置于所述内空间内，所述传送平台用于传动基板；

喷淋机构，设置于所述内空间内，所述喷淋机构包括多个喷淋模组，每个喷淋模组包括喷淋管、设置于喷淋管进水处的气动阀以及设置于所述喷淋管出水处的喷嘴，多个所述喷嘴设置于所述传送平台的上方或下方且平行于所述基板的传动方向；

控制器，分别与所述多个喷淋模组中的气动阀电性连接，以分别控制所述多个喷淋模组中的气动阀的开启或关闭，

在所述基板传动过程中，所述基板进入所述喷淋机构的喷淋区域后，与所述基板所在位置对应的所述喷淋模组工作，其他所述喷淋模组关闭。

2.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述显影装置还包括至少一个传感器，所述至少一个传感器用于在所述基板与所述喷嘴之间发生相对运动时，确定所述基板的位置。

3.根据权利要求2所述的显影装置，其特征在于，所述至少一个传感器设置于所述壳体的表面或设置于所述传送平台上。

4.根据权利要求2所述的显影装置，其特征在于，所述至少一个传感器的数量与所述多个喷淋模组相等，所述至少一个传感器与所述多个喷淋模组一一对应。

5.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述传送平台所在平面相对水平面倾斜。

6.根据权利要求5所述的显影装置，其特征在于，所述传送平台所在平面与水平面夹角的范围为5～30°。

7.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述壳体的上板为三角形。

8.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述喷嘴喷淋出的液体为去离子水。

9.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述喷淋机构还包括固定装置，所述固定装置与所述壳体相连接以固定所述喷嘴的高度和喷淋方向。

10.一种显影方法，其特征在于，应用于权利要求1～9任一项所述的显影装置，包括：

将基板传送至显影单元，进行光刻胶刻蚀；

将基板传送至清洗单元，清洗残留的显影液和光刻胶；

将基板传送至二流体单元，除去含杂质的清洗液。