[发明专利]蒸发源遮挡装置和蒸镀设备在审
| 申请号： | 201910555156.9 | 申请日： | 2019-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN112126899A | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 苏艳波 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;姜春咸 |
| 地址： | 102200 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸发源遮挡装置和蒸镀设备。该遮挡装置包括升降固定机构和遮挡机构，升降固定机构活动连接遮挡机构，升降固定机构用于固定蒸发源并带动蒸发源升降运动；遮挡机构用于随着蒸发源的升起而开启，以使蒸发源暴露，还用于随着蒸发源的降落而关闭，以使蒸发源被遮挡。该蒸发源遮挡装置不仅能避免蒸发源的蒸发物镀在工艺腔室内壁，从而确保了腔室的洁净度；同时还能避免暴露在蒸发区内的被镀基片在升温阶段和降温阶段被镀膜，从而使被镀基片在升温阶段和降温阶段也能暴露在蒸发区内。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 遮挡 装置 设备 | ||
【主权项】：
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