[发明专利]蒸发源遮挡装置和蒸镀设备

权利要求书

1.一种蒸发源遮挡装置，其特征在于，包括升降固定机构(1)和遮挡机构(2)，所述升降固定机构(1)活动连接所述遮挡机构(2)，所述升降固定机构(1)用于固定蒸发源(3)并带动所述蒸发源(3)升降运动；所述遮挡机构(2)用于随着所述蒸发源(3)的升起而开启，以使所述蒸发源(3)暴露，还用于随着所述蒸发源(3)的降落而关闭，以使所述蒸发源(3)被遮挡。

2.根据权利要求1所述的蒸发源遮挡装置，其特征在于，所述升降固定机构(1)包括第一固定部(10)、第二固定部(11)和空心板(12)，所述第一固定部(10)与所述第二固定部(11)活动连接，所述第二固定部(11)用于固定所述蒸发源(3)的底部；所述第二固定部(11)能沿所述第一固定部(10)的延伸方向往复移动，以带动所述蒸发源(3)升降；

所述空心板(12)连接所述第一固定部(10)，所述空心板(12)上开设有通孔(120)，且所述空心板(12)上在对应所述通孔(120)的位置设置有第一筒体(13)，所述第一筒体(13)的中心轴与所述通孔(120)的中心轴重合；

所述蒸发源(3)贯穿所述通孔(120)且部分位于所述第一筒体(13)内。

3.根据权利要求2所述的蒸发源遮挡装置，其特征在于，所述遮挡机构(2)包括第二筒体(20)和遮板(21)，所述第二筒体(20)嵌套于所述第一筒体(13)内，所述第一筒体(13)的与所述空心板(12)相接触的底部设置有限位槽，所述第二筒体(20)的底端内嵌于所述限位槽中，所述蒸发源(3)位于所述第二筒体(20)内，所述蒸发源(3)与所述第二筒体(20)之间通过第一连接件(22)活动连接，在所述第一连接件(22)的活动连接作用以及所述第二固定部(11)带动所述蒸发源(3)的升降作用下，所述第二筒体(20)能相对所述第一筒体(13)转动；

所述遮板(21)设置于所述第一筒体(13)和所述第二筒体(20)的远离所述空心板(12)的顶端，所述遮板(21)与所述第一筒体(13)之间通过第二连接件(23)活动连接，所述遮板(21)与所述第二筒体(20)之间通过第三连接件(24)活动连接，所述遮板(21)能在所述第二连接件(23)和所述第三连接件(24)的活动连接作用以及所述第二固定部(11)带动所述蒸发源(3)的升降作用下开启或关闭，以对所述蒸发源(3)进行暴露或遮挡。

4.根据权利要求3所述的蒸发源遮挡装置，其特征在于，所述第一连接件(22)包括设置在所述蒸发源(3)外壁上的第一销轴(220)和设置在所述第二筒体(20)内壁上的第一滑槽(221)，

所述第一销轴(220)内嵌于所述第一滑槽(221)中，且所述第一销轴(220)能随所述蒸发源(3)的升降沿所述第一滑槽(221)移动。

5.根据权利要求4所述的蒸发源遮挡装置，其特征在于，所述第一滑槽(221)包括沿所述蒸发源(3)升降方向由下至上分布的第一段(2210)和第二段(2211)，所述第一段(2210)和所述第二段(2211)对接；

所述第一段(2210)沿所述蒸发源(3)升降方向由下至上呈螺旋弧状延伸，所述第二段(2211)沿所述蒸发源(3)升降方向由下至上呈直线延伸。

6.根据权利要求4所述的蒸发源遮挡装置，其特征在于，所述第一销轴(220)包括多个。

7.根据权利要求3所述的蒸发源遮挡装置，其特征在于，所述第二连接件(23)包括设置在所述第一筒体(13)的顶端的第二销轴(230)和设置在所述遮板(21)上的第二滑槽(231)，所述第二销轴(230)内嵌于所述第二滑槽(231)中，且所述第二销轴(230)能沿所述第二滑槽(231)移动；

所述第三连接件(24)包括设置在所述第二筒体(20)的顶端的第三销轴(240)和设置在所述遮板(21)上的轴孔(241)，所述第三销轴(240)与所述轴孔(241)相嵌套，且所述第三销轴(240)能在所述轴孔(241)中转动。