[发明专利]蒸发源遮挡装置和蒸镀设备

说明书

本发明提供一种蒸发源遮挡装置和蒸镀设备。该遮挡装置包括升降固定机构和遮挡机构，升降固定机构活动连接遮挡机构，升降固定机构用于固定蒸发源并带动蒸发源升降运动；遮挡机构用于随着蒸发源的升起而开启，以使蒸发源暴露，还用于随着蒸发源的降落而关闭，以使蒸发源被遮挡。该蒸发源遮挡装置不仅能避免蒸发源的蒸发物镀在工艺腔室内壁，从而确保了腔室的洁净度；同时还能避免暴露在蒸发区内的被镀基片在升温阶段和降温阶段被镀膜，从而使被镀基片在升温阶段和降温阶段也能暴露在蒸发区内。

技术领域

本发明属于太阳能电池制备技术领域，具体涉及一种蒸发源遮挡装置和蒸镀设备。

背景技术

在薄膜太阳能电池的制备工艺中，通过溅射获得的背金属电极膜层结构存在着膜层应力较大的问题，通过蒸发镀膜方式获得的背金属电极膜层可以有效的控制膜层应力。

蒸发镀膜工艺一般分为三个阶段：升温阶段、恒温阶段、降温阶段，为了确保蒸镀的均匀性，多采用在恒温阶段进行蒸镀，而在升温阶段和降温阶段需要避免被镀基片暴露在蒸发区内。目前多采用在升温阶段和降温阶段，使被镀基片远离蒸镀区域的方法。然而此方法会使蒸发物镀在工艺腔室内壁，影响腔室洁净度。

发明内容

本发明针对现有技术中的问题，提供一种蒸发源遮挡装置和蒸镀设备。该遮挡装置不仅能避免蒸发源的蒸发物镀在工艺腔室内壁，从而确保了腔室的洁净度；同时还能避免暴露在蒸发区内的被镀基片在升温阶段和降温阶段被镀膜，从而使被镀基片在升温阶段和降温阶段也能暴露在蒸发区内。

本发明提供一种蒸发源遮挡装置，包括升降固定机构和遮挡机构，所述升降固定机构活动连接所述遮挡机构，所述升降固定机构用于固定蒸发源并带动所述蒸发源升降运动；所述遮挡机构用于随着所述蒸发源的升起而开启，以使所述蒸发源暴露，还用于随着所述蒸发源的降落而关闭，以使所述蒸发源被遮挡。

优选地，所述升降固定机构包括第一固定部、第二固定部和空心板，所述第一固定部与所述第二固定部活动连接，所述第二固定部用于固定所述蒸发源的底部；所述第二固定部能沿所述第一固定部的延伸方向往复移动，以带动所述蒸发源升降；

所述空心板连接所述第一固定部，所述空心板上开设有通孔，且所述空心板上在对应所述通孔的位置设置有第一筒体，所述第一筒体的中心轴与所述通孔的中心轴重合；

所述蒸发源贯穿所述通孔且部分位于所述第一筒体内。

优选地，所述遮挡机构包括第二筒体和遮板，所述第二筒体嵌套于所述第一筒体内，所述第一筒体的与所述空心板相接触的底部设置有限位槽，所述第二筒体的底端内嵌于所述限位槽中，所述蒸发源位于所述第二筒体内，所述蒸发源与所述第二筒体之间通过第一连接件活动连接，在所述第一连接件的活动连接作用以及所述第二固定部带动所述蒸发源的升降作用下，所述第二筒体能相对所述第一筒体转动；

所述遮板设置于所述第一筒体和所述第二筒体的远离所述空心板的顶端，所述遮板与所述第一筒体之间通过第二连接件活动连接，所述遮板与所述第二筒体之间通过第三连接件活动连接，所述遮板能在所述第二连接件和所述第三连接件的活动连接作用以及所述第二固定部带动所述蒸发源的升降作用下开启或关闭，以对所述蒸发源进行暴露或遮挡。

优选地，所述第一连接件包括设置在所述蒸发源外壁上的第一销轴和设置在所述第二筒体内壁上的第一滑槽，

所述第一销轴内嵌于所述第一滑槽中，且所述第一销轴能随所述蒸发源的升降沿所述第一滑槽移动。

优选地，所述第一滑槽包括沿所述蒸发源升降方向由下至上分布的第一段和第二段，所述第一段和所述第二段对接；

所述第一段沿所述蒸发源升降方向由下至上呈螺旋弧状延伸，所述第二段沿所述蒸发源升降方向由下至上呈直线延伸。

优选地，所述第一销轴包括多个。