[发明专利]一种硒化镉靶材及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201910554310.0 申请日: 2019-06-25
公开(公告)号: CN110128143B 公开(公告)日: 2022-07-15
发明(设计)人: 范文涛;朱刘;胡智向 申请(专利权)人: 先导薄膜材料(广东)有限公司
主分类号: C04B35/547 分类号: C04B35/547;C04B35/645;C04B35/65
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 刘猛
地址: 511517 广东省清*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及光电材料生产技术领域,尤其涉及一种硒化镉靶材及其制备方法。所述制备方法包括:A)将硒粉和镉粉混匀,得到混合粉末;B)将所述混合粉末进行热压烧结,得到硒化镉靶材;所述热压烧结包括:b1)将所述混合粉末加热至240~350℃,保温1~3h;b2)然后保压升温至600~800℃,保温1~3h。本发明将硒粉和镉粉混匀后,直接进行热压烧结即可制得硒化镉靶材。本发明中的热压烧结无需在真空条件下进行,即使在真空条件下进行,也是可以实现本发明的效果。因而,工序简单,周期短,对设备要求较低,成本较低,可规模化生产。制得的硒化镉靶材纯度和密度均较高。
搜索关键词: 一种 硒化镉靶材 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种硒化镉靶材的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:A)将硒粉和镉粉混匀,得到混合粉末;B)将所述混合粉末进行热压烧结,得到硒化镉靶材;所述热压烧结包括:b1)将所述混合粉末加热至240~350℃,保温1~3h;b2)然后保压升温至600~800℃,保温1~3h。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于先导薄膜材料(广东)有限公司,未经先导薄膜材料(广东)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201910554310.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top