[发明专利]一种硒化镉靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种硒化镉靶材的制备方法，其特征在于，由以下步骤组成：

A）将硒粉和镉粉混匀，得到混合粉末；

B）将所述混合粉末装入石墨模具中，再放入热压炉中进行热压烧结，得到硒化镉靶材；

所述热压烧结包括：

b1）将所述混合粉末加热至240~350℃，保温1~3 h；

所述保温具体为：

保温10 min后，开始保温加压至20~30 MPa，然后保温保压；

将所述混合粉末加热至240~350℃的加热速率为2~8℃/min；

b2）然后保压升温至600~800℃，保温1~3 h；

所述保温具体为：

保温10 min后，开始保温加压至40~70 MPa，然后保温保压；

保压升温至600~800℃的升温速率为2~8℃/min；

所述保温结束后，还包括：

停止加热，压力降至0 MPa后，降温至400~500 ℃，保温1~3 h，冷却至室温，出炉脱模。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述硒粉的粒度小于100目，所述镉粉的粒度小于100目。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述硒粉的纯度为5 N，所述镉粉的纯度为5 N。